IBAD IBED IAD יון Beam בסיוע הפקדה

(IAD או IBED) הוא משטח מורכב עיבוד יון המשלבת יון Beam ההשתלה עם גז הפקדת הפקדת הטכנולוגיה, וגם טכנולוגיה חדשה עבור אופטימיזציה משטח הטיפול של יון Beam. שינוי פני השטח של יון חומר ההשתלה, טכנולוגיה זו בתצהיר מרוכבים עושה את הסרט ואת תערובת מטריקס בממשק שנגרם על ידי התנגשות אשד שנגרם על ידי יון השתלה, ומייצר שכבת המעבר ומשלב בתקיפות.לכן, הפצצה קרן יון מתרחשת באותו זמן כמו בתצהיר הסרט.לכן, היא התפתחות חשובה של שינוי קרן יון הטכנולוגיה משטח חדש יון טכנולוגיית טיפול המשלבת הזרקת יון טכנולוגיית ציפוי.

יתרונות:

1. יון קרן סיוע בתצהיר אינו דורש פריקה גז בתא ואקום לייצר פלזמה, אשר יכול להיות <>

ציפוי בינוני מפחית זיהום גז.

2. הפרמטרים תהליך בסיסי (אנרגיית קרן יון, צפיפות קרן יון) הם פרמטרים, וכמה פרמטרים שאינם חשמליים כגון בקרת זרימת הגז הם בדרך כלל לא נחוץ, אשר יכול בקלות לשלוט על הצמיחה של שכבת הסרט, להתאים את הרכב, מבנה ואת תהליך הדירות של הסרט.

3. משטח workpiece יכול להיות מצופה בסרט שונה לחלוטין מן המצע עם עובי לא מוגבל על ידי האנרגיה של יונים הפצצה בטמפרטורה נמוכה (<200 ℃).="" זה="" מתאים="" לטיפול="" פני="" השטח="" של="" הסרט="" תפקודית="" אלקטרוניים,="" קר="" דיוק="" במכונות="" דיוק="" וטמפרטורה="" נמוכה="" הרפיה="" מבנית="">

4. Ion קרן סיוע בתצהיר הוא תהליך nonequilibrium נשלט בטמפרטורת החדר.פונקציונלי סרטים חדשים כגון שלב טמפרטורה גבוהה, שלב metastable סגסוגת אמורפי ניתן להשיג בטמפרטורת החדר.

תגיות פופולריות: ibad ibid ibad יון קרן סיוע בתצהיר, סין, יצרנים, ספקים, לקנות, מותאם אישית, תוצרת סין