זרם זרימת המונים
מדידת זרימת המסה (MFC) מורכבת משלושה מכשירים בסיסיים: חיישן זרימה, מעקף מפצל זרימה ולוח מעגלים מודפס, היא מודדת במדויק את קצב זרימת המסה, מייעלת את נפח הגז הנעים כתוצאה משינויי טמפרטורה. MFC מוחל נרחב בשדות ...
- הצגת המוצר
מבוא
מד זרימת ההמונים (MFC) מורכב משלושה מכשירים בסיסיים: חיישן זרימה, מעקף מפצל זרימה ולוח מעגלים מודפס, הוא מודד במדויק את קצב זרימת המסה של ערימת הגז הנגרמת כתוצאה משינויי טמפרטורה. MFC מיושמת באופן נרחב בתחומים של מוליכים למחצה ו- IC ייצור, מדע חומרים מיוחדים, התעשייה הכימית, תעשיית petrolic, תעשיית התרופות, הגנה על הסביבה, מערכת ואקום מחקר, וכו '
יישום אופייני
יישומים אופייניים של MFC כוללים ציוד microelectronic תהליך כגון דיפוזיה, חמצון, epitaxy, CVD, פלזמה, תחריט, השתוללות, יון השתלה ושדה אחר כגון ציוד בתצהיר ואקום, סיבים אופטיים ההיתוך, ציוד תגובה מיקרו, ערבוב & התאמת מערכת הגז , מערכת בקרת זרימה נימית, כרומטוגרף גז ומכשירים אנליטיים אחרים.
D07-7KM MFC יש את היתרונות של דיוק גבוהה, חיי שירות ארוכים, הדירות מעולה, תגובה מהירה, התחלה רכה, אמינות טובה, טווח פעולה רחב פעולה (פעולה טובה בלחץ גבוה או מצב ואקום), פעולה קלה ונוחה, וכו ' זה יכול להיות מותקן בכל מקום הצורך ומחובר עם המחשב כדי להשיג שליטה אוטומטית.
מִפרָט
טווחי זרימה | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM |
דיוק | ± 1.5% FS |
ליניאריות | ± 1% FS |
הֲדִירוּת | ± 0.2% FS |
זמן תגובה | ≤ 4 שניות |
מקדם טמפרטורה | אפס: ≤ ± 0.1% FS / ℃, טווח: ≤ ± 0.2% FS / ℃ |
לחץ מקסימלי | 3MPa |
טמפרטורת הפעולה | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
חומר איטום | ויטון, נאופרן |
הגדרת אות / פלט | 0V ~ + 5.00V (קלט עכבה> 100K, יציאה זרם ≤3ma) |
ספק כוח | + 15V 50mA 15V 50mA |
קשר חשמלי | D תת 15 סיכות נקבה |
לחץ דיפרנציאלי | <0.01> |
שיעור דליפה | 1 × 10-8atm • cc / sec הוא (1 × 10-9 Pa • m3 / sec he) |
תקן משותף | סוואגלוק 6, SwagelokF3, Swagelok3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (פנימי) × 1 צינור מצמד, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (פנימי) × 1 צינור מצמד |
כְּלֵי תִקְשׁוֹרֶת | כל הגז |
אמי | לִספִירַת הַנוֹצרִים |
מִשׁקָל | 0.92kg |
ממד התקנה
