שימוש כללי בקר זרימה המונית - MKS 1179C
1179C הוא מטרה כללית זרימת מסה בקר שנועד למדוד ולשלוט על זרימת גזים במגוון רחב של יישומים. 1179 בקרים זרימת ההמונים זמינים עם טווחי קנה מידה מלא מ 10 ס"מ עד 20 slm, מתן שליטה מהירה, זרימה לשחזור כדי נמוך כמו ...
- הצגת המוצר
מבוא
1179C הוא מטרה כללית זרימת מסה בקר שנועד למדוד ולשלוט על זרימת גזים במגוון רחב של יישומים. 1179 בקרי זרימת ההמונים זמינים עם טווחי קנה מידה מלא מ 10 ס"מ עד 20 slm, מתן זרימה מהירה, זרימה לשחזור כדי נמוך כמו 0.2 ס"מ. זה יכול לשמש גם כבקר לחץ כאשר מחובר מתמר לחץ מתאים.
את 1179C הוא ישיר טופס בכושר החלפת פונקציה עבור MFCs הנפוצים ביותר בשוק כיום. טביעת הרגל הרגילה 3 אינץ 'מאפשרת ל 1179C לרדת ישירות לאותו חלל מבלי לשנות קווי גז קיימים. המחברים החשמליים הם אותם מחברי סוג "D", עם אותם סיכות, אותות ופונקציות כמו עמיתיהם בתעשייה שלהם, ולכן אין צורך בכבלים או מחבר חיווט. 1179C תואם MFC אספקת החשמל האלקטרוניקה להציג מ MKS או יצרנים אחרים.
תכונות ויתרונות
◆ פטנט 1 עיצוב חיישן מספק יציבות אפס יוצאת דופן
◆ טווחי תזרים מלא מ - 10 "ס ק מ עד 20" מ מ עבור מדידת זרימה מדויקת וניתנת לביטול
◆ אחוז דיוק מלא עבור תצורות אנלוגיות
◆ זמן החימום המהיר ממזער את זמן ההשבתה של הייצור
◆ תואם MKS MFC מוקדם אספקת החשמל / readout מודולים
◆ עיצוב קפדני ובדיקות כולל ניתוח MTBF ו בדיקות STRIFE כדי להבטיח ביצועים לטווח ארוך
◆ גימור פני השטח של משטחי חלד הרטובים, עיבוד חדר נקי ושימוש מינימלי בחותמות אלסטומר מאפשרות שימוש בתהליכים נקיים ותובעניים
◆ אחריות שנתיים מבטיחה שביעות רצון איכותית ושירות לקוחות
מִבְנֶה
דיאגרמת חתך של בקר של 1179C Mass-Flo
תזרים זרימה ו חזרה
התרשים לעיל מראה את דיוק הזרימה טיפוסי הדירות של MALs MANs של המשפחה 1179C. המדידות נעשו תוך שימוש במכשירי הזרימה הסטנדרטיים של מקס אינסטרומנטס.
יציבות אפס
התרשים הנ"ל מראה את יציבות האפס והיציבות המצוין של חיישן 1179C שמשמש את המשפחה 1179. המכשירים הופעלו ונבדקו באקראי עבור אפס ו span span מעל 19 חודשים.
מִפרָט
| טווחים בקנה מידה מלא (N 2 שווה ערך) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sqm | |
| לחץ מפרץ מקסימלי | 150 psig | |
לחץ הפעלה רגיל דִיפֵרֶנציִאָלִי (עם אטמוספירה לחץ על השקע MFC) | 10 עד 5000 מ"ר | 10 עד 40 psid |
| 10000 עד 30000 מ"ר | 15 עד 40 psid | |
| טווח שליטה | 2% עד 100% של FS | |
דיוק (אנלוגי) (כולל לא ליניאריות, היסטרזיס, ולא הדירות הפניה 760 מ"מ כספית ו 0 ° C) | ± 1.0% של FS | |
| הֲדִירוּת | ± 0.2% של FS | |
| פתרון הבעיה | 0.1% של FS | |
| מקדמי טמפרטורה | אֶפֶס | <0.05% fs=""> |
| לְהַקִיף | <0.08% מתוך=""> | |
| חימום זמן (עד 0.2% של FS של ביצועים מצב יציב) | <2> | |
| זמן התיישבות של בקר (לפי הנחיות SEMI E17-91) | <2> | |
| מקדם לחץ | <0.02% מתוך=""> | |
| נורמלי טווח טמפרטורת פעולה | 0 ° C עד 50 ° C | |
| מתח כניסה נדרש | מקסימלי הנוכחי ב סטארט אפ (2 שניות הראשון) | ± 15 VDC (± 5%) @ 200 mA |
| זרם טיפוסי במצב יציב | ± 15 VDC (± 5%) @ 100 mA | |
| הגדר נקודת פיקוד | 0 עד 5 VDC מ <20k> | |
| אות פלט | 0 עד 5 VDC לתוך> 10K Ω | |
| עכבת יציאה | <1> | |
סוגי מחבר אנלוגי | 9 פינים או 15 פינים סוג "D" (מחבר 15 "פינים מסוג" D "הוא אלקטרונית תואם עם בקרי זרימה אחרים MKS . עיין בהנדסת יישומים לקבלת פרטים.) | |
| חומרים רטובים | תֶקֶן | 316L SS, ויטון ®, ניקל |
| אופציונלי (אטמים ומושב שסתום) | Buna-N, Neoprene ®, Kalrez ® | |
| דליפות שלמות | חיצוני (scc / sec he) | <1 x="" 10=""> |
| באמצעות שסתום סגור | <1.0% של="" fs="" ב="" 40="" psig="" מפרצון=""> ה (כדי להבטיח לא הזרימה דרך, מומלץ נפרד שסתום לסגור את השסתום.) | |
| אביזרי צנרת (תואם) | Swagelok ® 4 VCR ®, Swagelok ® 4 VCO ®, ¼ '' Swagelok | |
| הענות | לִספִירַת הַנוֹצרִים | |
ציור מימדי
הערה: אם לא צוין אחרת, הממדים הם ערכים נומינליים ב אינץ '(mm הפניה).
תגיות פופולריות: המטרה הכללית זרימת מסה בקר - mks 1179c, סין, יצרנים, ספקים, לקנות, אישית, תוצרת סין
