תואם ואקום Gauges ו בקרי CDG045D 0.05 ~ 1000Torr / Mbar

מבוא INFICON SKY CDG045D manometers הם הבחירה הטובה ביותר שלך עבור מדידת לחץ מוחלט גבוה ושליטה מלאה. מדדי CDG045D הם טמפרטורה מבוקרת על 45 מעלות צלזיוס ליציבות האות מעולה הדירות. הם זמינים עבור טווחים בקנה מידה מלא מ 50 mTorr ל 1000 טור, עם ...

שלח החקירה

הצגת המוצר

מבוא

INFICON SKY CDG045D manometers הם הבחירה הטובה ביותר שלך עבור מדידה מדויקת מלאה הלחץ הכולל ושליטה. מדדי CDG045D הם טמפרטורה מבוקרת על 45 מעלות צלזיוס ליציבות האות מעולה הדירות. הם זמינים עבור טווחים בקנה מידה מלא מ 50 mTorr ל 1000 טור, עם כל סוגי אוגן משותף ממשקי fieldbus ולספק לינארי 0 עד 10 V, סוג גז עצמאית, אות הלחץ. INFICON קיבול manometers להשתמש אולטרה טהור אלומינה קרע הסרעפת אשר הוכחה קורוזיה. היתרונות של חיישן קרמי הם יציבות האות טוב יותר, התאוששות מהירה יותר מהאווירה, זמן להתחמם קצר חיים יוצאי דופן. INFICON CDG הם באיכות גבוהה, חיישני לחץ יעיל עבור יישומים ואקום תובעניים.

אינפיקון SKY CDG045D קיבולת דיאפרגמה מדדים הם תחליפים ישירים עבור משדרים Cer 101 Oerlikon CyTR. קבל את המקור מתוך manufacterer עם תמיכה ופתרונות גלובליים עבור כל היישומים.

יתרונות

◆ תואם באופן מלא עם משדרים CTR 101

◆ תחתון COO (עלות הבעלות), 50% מהר להתחמם, צריכת אנרגיה יעילה צריכת חשמל נמוכה

◆ אינטגרציה קלה, מגוון רחב של קשקשים מלאים, אוגנים וממשקים, סטנדרטי עם שתי נקודות

◆ קל לדחוף כפתור אחד או מרחוק אות הפקודה אפס, אפס לקזז מתכווננת

◆ יציאת אבחון לשירות ותחזוקה מהירים

◆ אחריות שנתיים, זמן חיים ארוך יותר עם רעיון חימום מתקדם והגנה על מד

◆ לא recalibration לטווח ארוך בשל יציבות האות מעולה הדירות, גם ביישומים פלזמה קשה

◆ תאימות & תקנים: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

יישומים טיפוסיים

◆ Etch, CVD, PVD ותהליכי ייצור מוליכים למחצה אחרים

◆ תהליכי ואקום כימיים וקורוזיים

◆ כללי הסרט דק תהליכי ואקום

◆ חיישן ייחוס לניטור של מכשירי בדיקה בהתאם לתקנים הבינלאומיים

◆ העברת תקן למדידות עקיבות

מִפרָט

סוּג		1000 טור, 1100 mbar	500 ... 1 Torr / mbar	0.5 ... 0.05 טור / mbar
דיוק	% קריאה	0.15	0.15	0.15
אפקט טמפרטורה
על אפס	אחוזים FS / ° C	0.0025	0.0025	0.0025
on span	% קריאה / ° C	0.01	0.01	0.01
פתרון הבעיה	FS	0.003	0.003	0.003
לחץ, מקסימום.	kPa (מוחלט)	400	260	130
הקריאה הנמוכה ביותר	FS	0.01	0.01	0.01
הנמוך ביותר הציע קריאה	FS	0.05	0.05	0.05
הנמוך ביותר הציע לחץ שליטה	FS	0.5	0.5	0.5
טֶמפֶּרָטוּרָה
מבצע (סביבה)	° C	+10 ... +40	+10 ... +40	+10 ... +40
Bakeout על אוגן	° C	≤110	≤110	≤110
אִחסוּן	° C	-20 ... +65	-20 ... +65	-20 ... +65
מתח אספקה		+14 ... +30 VDC או ± 15 V (± 5%)	+14 ... +30 VDC או ± 15 V (± 5%)	+14 ... +30 VDC או ± 15 V (± 5%)
צריכת חשמל
במהלך החום	W	≤12	≤12	≤12
בטמפרטורת ההפעלה	W	≤ 8	≤ 8	≤ 8
אות יציאה (אנלוגי)	V (dc)	0 ... +10	0 ... +10	0 ... +10
זמן תגובה	גברת	30	30	130/30
מידת ההגנה		IP 40	IP 40	IP 40
תקנים
CE התאמה		EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS
הסמכה ETL		UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1	UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1	UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
תאימות ל- SEMI		S2 S2	S2 S2	S2 S2
חיבור חשמלי		D-sub, 15 מוט, זכר	D-sub, 15 מוט, זכר	D-sub, 15 מוט, זכר
הגדר נקודה
מספר נקודות הקצה		2 (SP1, SP2)	2 (SP1, SP2)	2 (SP1, SP2)
אנשי קשר ממסר	V (dc)	≤30	≤30	≤30
היסטרזי	FS	1	1	1
יציאת אבחון
פרוטוקול		RS232-C	RS232-C	RS232-C
לקרוא		לחץ, מעמד, מזהה	לחץ, מעמד, מזהה	לחץ, מעמד, מזהה
מַעֲרֶכֶת		להגדיר נקודות, לסנן, אפס להתאים, לאפס את המפעל, DC היסט	להגדיר נקודות, לסנן, אפס להתאים, לאפס את המפעל, DC היסט	להגדיר נקודות, לסנן, אפס להתאים, לאפס את המפעל, DC היסט
חומרים שנחשפו לִשְׁאוֹב		תחמוצת אלומיניום (AI2O3), פלדה stainles (AISI 316L)	תחמוצת אלומיניום (AI 2 O 3 ), נירוסטה (AISI 316L )	תחמוצת אלומיניום (AI 2 O 3 ), נירוסטה (AISI 316L )
נפח פנימי
1/2 ''	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)
DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)
DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)
8 VCR®	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)

תגיות פופולריות: מדדי ואקום תואם ובקרים cdg045d 0.05 ~ 1000torr / mbar, סין, יצרנים, ספקים, לקנות, מותאם אישית, תוצרת סין

← זוג: בקר VGC50x ואקום מד

הבא: תואם ואקום מחוונים בקרי CDG025D 0.1 ~ 1000 טור / mbar →

שלח החקירה

אולי גם תרצה