הסיבה של חוסר אחידות של מגנטרון sputtered ציפוי

לא משנה איזה סוג של מכונת ואקום עולה, אחידות הציפויים יושפעו על ידי גורם מסוים.

הפעולה של מגנטרון המקרטעת מכונת ציפוי ואקום היא להפוך את האלקטרונים להפציץ את יון ארגון נוצר על ידי ארגון גז ולאחר מכן להפציץ את המטרה על ידי השדה המגנטי אורתוגונליים תחת מצב ואקום, יונים היעד מופקדים על פני השטח של היצירה כדי ליצור ציפוי. אז אנחנו יכולים לחשוב כי מצב ואקום, שדה מגנטי וארגון הם שלושה היבטים הקשורים האחידות של עובי הסרט.

מצב ואקום נשלט על ידי מערכת שאיבת אוויר. כל יציאה שאיבה חייב להיות actuated באותו זמן תחת חוזק עקבית כך אחידות של שאיבה יכול להיות מובטחת. אם שאיבה אינה אחידה, הלחץ בחדר ואקום לא יכול להיות אחיד, כמו הלחץ יש השפעה כלשהי על תנועת יונים. בנוסף, זמן השאיבה חייב להיות מבוקר. קצר מדי יגרום לא מספיק ואקום, אבל זה יהיה בזבוז של משאבים אם זה יותר מדי זמן. אבל קיומם של מדדי ואקום עושה את זה הכרחי.

השדה המגנטי פועל באופן אורתוגונלי, אך אי אפשר להפוך את עוצמת השדה המגנטי ל -100% אחידה. באופן כללי, כאשר השדה המגנטי חזק, עובי הסרט יהיה גדול, ולהפך, כך עובי הסרט יהיה עקבי.

אחידות אספקת גז ארגון גם משפיע על אחידות שכבת הסרט. העיקרון דומה לתואר ואקום. בשל כניסתו של ארגון גז, הלחץ בחדר ואקום ישתנה בהתאם. אחידות של עובי הסרט יכול להיות נשלט על ידי לחץ אחיד.

אמנם יש תמיד כמה גורמים שגורמים חוסר אחידות של הסרט, אבל שיעור המעבר של הסרט הוא גבוה מאוד אם הפעולה הנכונה של מכונת ציפוי ואקום נעשה.