הטוב ביותר איתור דליקות טכניקות עבור PVD ציפוי מחשב

שיטת איתור הבועה

PVD ציפוי בועה שיטת זיהוי המועדפת על מיכלי ציפוי PVD או התקנים מעובדים. PVD ציפוי בועה שיטת זיהוי פירושו מילוי החלק נבדק עם לחץ מסוים דליפת גז אינדיקציה, ולאחר מכן לשים את החלק הנבדק לתוך הנוזל. הגז נכנס אל הנוזל שמסביב דרך חור הדליפה כדי ליצור בועות. והמקום שבו בועות הוא המיקום של חור דולף. יתר על כן, שיעור דליפה של החור ניתן לאמוד לפי שיעור היווצרות ואת גודל הבועות, כמו גם את התכונות הפיזיות של דליפת גז אינדיקציה.

זיהוי שיטת כיסוי

כיסוי שיטת גילוי מתייחס לשיטה המכסה את כל מכשיר ציפוי PVD עם שקית פלסטיק אתילן (כיסוי), ולאחר מכן מילוי התיק עם הליום, כלומר, מיכל ואקום כולו שקוע הליום עבור גילוי דליפה. לאחר פינוי מלא של הגז, להפוך את השסתום הראשי, שסתום גס, שסתום דליפה לכבות. ולאחר מכן להשתמש BA ionization ואקום מד כדי למדוד את השינוי בלחץ לעלות כדי לקבוע אם יש דליפה.

ציפוי PVD הוא סכום של עלייה בלחץ בשל דליפת הגז ועליית הלחץ שנגרמת על ידי degassing החומר, ולבסוף היא עלייה ליניארית כי פרופורציונלי לזמן. כאשר PVD ציפוי עקומת תערוכות כגון המדינה כפי שתואר לעיל, כלומר המכשיר דולף. כאשר אין דליפה ורק degassing החומר, העקומה צריך להיות רווי. אם יש רק דליפה ללא degassing חומר, הוא קו ישר כי הוא פרופורציונלי לזמן בהתחלה.