שיטת הפקעת גמגום לסגסוגת סרטים

על מנת להקטין את מספר היעדים המשמשים את המערכת המקרטעת, מטרה אחת אמורה לטרוף ולהפקיד סרטים מסגסוגת שעונים על ההרכב ועל דרישות הביצועים. כך מטרות מסגסוגת, מטרות מרוכבים שיבוץ, ו רב היעד sputtering ניתן להשתמש במקרה זה.

באופן כללי, במצב פריקה יציב, על פי הרכב היעד, אטומים מכוננים שונים, בהתאמה, מתרברבים. יתרון אחד של ציפוי המקרטעת לעומת אידוי ואקום ציפוי יון היא כי ההבדל בין הרכב של שכבת הסרט ואת היעד הוא קטן הרכב ציפוי הוא יציב יותר. עם זאת, בחלק מהמקרים, בשל הבחירה תופעה תופעה של אלמנטים הרכב שונים, שונים לאחור מגמגם שיעור כוח הדבקה של הסרט, הרכב שכבת הסרט ואת היעד עשוי להיות שונה מאוד. בעת שימוש זה סוג של סגסוגת היעד, על מנת לקבל את הסרט של רכיבים מסוימים, הטמפרטורה של המצע צריך להיות מופחת ככל האפשר כדי להפחית את ההבדל בשיעור הדבקה בנוסף לגיבוש היעד הספציפי על פי הניסוי ומזעור את הטמפרטורה של היעד. כמו כן, התנאים המתאימים תהליך תפחית את ההשפעה המדרבנת לאחור על הסרט.

במקרים מסוימים, קשה להכין שטח גדול סגסוגת אחיד היעד או יעד מורכב. לכן, היעד פסיפס מורכב המורכב של אלמנטים בודדים ניתן להשתמש. הרכב פני השטח של היעד מוצג Fig.1. ביניהם, מבנה פסיפס בצורת מניפה (ד) הוא היעיל ביותר, קל לשלוט על הרכב הסרט, ואת הדירות גם טוב. בעיקרון, לא רק סגסוגות בינאריות, אלא גם שלישוני, סרטים סגסוגת quaternary יכול להתבצע על ידי שיטה זו.

איור 1. מטרות מרוכבות במבנה שונה

(א) יעד פסיפס מרובע (ב) יעד פסיפס עגול (ג) יעד פסיפס קטן עגול (ד) יעד פסיפס בצורת מניפה

המבנה של ריבוי מטרות מרובות מוצג באיור 2. המצע מסובב מעל שתי מטרות או יותר, ואת עובי בתצהיר של כל סרט נשלט להיות אחד או כמה שכבות אטומיות, ואת הסרט מתחלפת להיות מופקד, כך הסרט מורכב ניתן להשיג. לדוגמה, In1-xGax Sb סרט גביש יחיד הוכן על ידי מטרות InSb ו- GaSb. למרות שמכשיר זה מסובך, אבל כל רכיב רכיב ניתן להשיג על ידי שליטה על מהירות הסיבוב של המצע ושינוי המתח מוחל על כל מטרה. פרמטרים אלה ניתן לשלוט על פי זמן הציפוי, הרכב הסרט משתנה בכיוון של עובי הסרט ואת המבנה superlattice ניתן להשיג.

איור 2. דיאגרמה סכמטית של מבנה מרובה מטרות המקרטעת

השיטה הקתודית עזר משמש בדרך כלל כאשר ההבדל בין מרכיבי הסרט הוא גדול. המטרה העיקרית cathode הוא עשה את המרכיב העיקרי של סגסוגת, ואת היעד cathode עזר עשוי מרכיב התוספת של סגסוגת. כל יעד הוא sputtered בו זמנית כדי ליצור את הסרט מסגסוגת. על ידי התאמת הנוכחי של היעד קתודה עזר, כמות הרכיבים הוסיף בסגסוגת הסרט ניתן לשנות באופן שרירותי.