מאפייני המוצר של ציפוי ספוטרינג מגנטרון

מאפייני המוצר של ציפוי ספוטרינג מגנטרון
1. השדה המגנטי האנוראלי המשמש את ההסתעפויות של מגנטרון מאלץ את האלקטרונים המשניים להסתובב לאורך השדה המגנטי האנוראלי על ידי פס קפיצה. לפיכך, האזור הנשלט על ידי השדה המגנטי האנוראלי הוא האזור עם צפיפות הפלזמה הגבוהה ביותר. במהלך sputtering מגנטרון, גז sputtering, ארגון, ניתן לראות כדי לתת את זוהר כחול בהיר חזק בתנוחה זו, יצירת טבעת. המטרה מתחת להילה היא המופצצת בכבדות ביותר על ידי יונים, מבעבעת חריץ בצורת טבעת. השדה המגנטי של הטבעת הוא המסלול שבו אלקטרונים נעים, המסמלים את זוהר הטבעת ואת החריצים. ברגע שהחריץ הלוהט של המטרה המגרדת חודר את חומר המטרה, הוא יוביל לפיסת כל חומר המטרה, כך שקצב הניצול של חומר המטרה אינו גבוה, בדרך כלל פחות מ-40%;

2. חוסר יציבות פלזמה;

3, טמפרטורה נמוכה ו sputtering במהירות גבוהה של חומרים מגנטיים חזקים לא ניתן לממש, כי כמעט כל שטף מגנטי לא יכול לעבור את היעד המגנטי, כך שדה מגנטי חיזוק חיצוני לא ניתן להוסיף ליד משטח היעד.

חברת IKS PVD, מכונת ציפוי דקורטיבית, מכונת ציפוי כלים, מכונת ציפוי אופטי, קו ציפוי ואקום PVD. צרו קשר עכשיו, דואר אלקטרוני: iks.pvd@foxmail.com