ידע ראשוני של אבק אידוי תהליך ציפוי

ידע ראשוני של תהליך אידוי ואקום ציפוי

המרכיבים העיקריים של מבנה ציוד אידוי ואקום הן כדלקמן:

(1) תא ואקום, אשר מספק מידה ואקום הצורך אידוי ומונע חומרים מלהיות חמצון במהלך אידוי; (2) מקור התאדות והתאדות המתאדות, המשמשות בעיקר לייצור חומרי התאדות וחום; (3) מצע לקבלת חומרים מתאדים ויצירת סרט התאדות מוצק על פני השטח; (4) תנור צלחת הבסיס, המשמש לחימום צלחת הבסיס; (5) מכשיר למדידת טמפרטורה הוא מכשיר מדידה טמפרטורה תרמית.

ציפוי אידוי אבק מורכב מהתהליכים הבאים. 1. תהליך חימום ואידוי, כולל מעבר פאזה משלב מתוח לשלב גז (שלב מוצק, שלב נוזלי או שלב גז). כאשר תרכובת מתאדה מכל חומר בטמפרטורה שונה ובלחץ אדי רוויה שונה, מרכיביו מגיבים זה עם זה, שחלקם נכנסים למרחב האידוי כגזי או אדי. הובלת אטומים או מולקולות מאדות בין מקור אידוי למצע. מספר ההתנגשויות בין חלקיקים אלה לבין מולקולות הגז השיוריות בתא ואקום במהלך הטיסה של החלל תלוי במספר ההתנגשויות בין מולקולות הגז של האטומים המתאדים, הנתיב החופשי הממוצע של האטומים המתאדים, והמרחק בין התאדה המקור ואת המצע. 3. תהליך שבו אטומים או מולקולות מאדים מופקדים על המצע, כלומר, תהליך של עיבוי אדי, נוקלאציה, צמיחה גרעינית ויצירת סרטים דקים רציפה. מאז טמפרטורת המצע הוא הרבה יותר נמוך מזה של מקור אידוי, המעבר בשלב של מולקולות משקע ישירות מתרחשת על פני המצע משלב הגז לשלב מוצק.

בתהליך של אידוי ואקום, סביבה ואקום לציפוי אידוי יש תפקיד מכריע, בגלל אידוי של אטומים או מולקולות יתנגש עם מספר גדול של מולקולות אוויר, זיהום של שכבת הממברנה, יצירת תחמוצת או אפילו מקור אידוי מחומם חמצון שריפת , או בשל ההתנגשות בלוקולות מולקולות האוויר, קשה ליצור סרט דק הומוגנית רציפה. אז זה חשוב יש ואקום יציבה, ואת תהליך אידוי גם כרוך הרוויה אדים לחץ תורת החומר. אז אתה גם צריך לדעת משהו על הלחץ אדי רוויה להבין את תהליך אידוי.

IKS PVD, ציוד ציפוי אידוי, פנה: iks.pvd@foxmail.com