כמה אתה יודע על PVD תהליך?

כמה אתה יודע על PVD התהליך?

פיתוח טכנולוגיות ציפוי ואקום

I. טכנולוגיית ציפוי ואקום לא פותחה במשך זמן רב. CVD (בתצהיר אדי כימי) הטכנולוגיה הוחל על כלי חיתוך קרביד ב 1960s.As טכנולוגיה זו צריכה להתבצע בטמפרטורה גבוהה (טמפרטורת התהליך הוא גבוה מ 1000 C), סוג ציפוי הוא יחיד המגבלות הן גדולות, ולכן הפיתוח הראשוני שלה אינו משביע רצון.

II. בסוף 1970, PVD (בתצהיר אדי פיזית) התפתחה. לאחר מכן, טכנולוגיית ציפוי PVD התפתח במהירות בתוך תקופה קצרה של 20 או 30 שנים. הסיבה לכך היא PVD ציפוי הסרט נוצרת חלל אטום ואקום, אשר כמעט אין בעיות זיהום סביבתי והוא תורם להגנת הסביבה. כי זה יכול לקבל בהיר, משטח רדוד, על צבע, בוגרת יש 7 צבע, ארגנטינאי, צבע שקוף, צהוב זהוב, שחור, על ידי צהוב זהוב מגיע כל סוג של צבע בין שחור, אפשר לומר הוא צבעוני, יכול לספק סקס קישוט כל מיני צרכים; ובגלל טכנולוגיית PVD, יכול בקלות לקבל שיטות אחרות קשה להשיג קשיחות גבוהה, עמידות גבוהה ללבוש של ציפוי קרמי, ציפוי מרוכב, להחיל נוסע, עובש, יכול להפוך את החיים מוכפל, טוב יותר כדי להשיג את ההשפעה של עלות נמוכה, תשואה גבוהה; בנוסף, טכנולוגיית ציפוי PVD יש את המאפיינים של טמפרטורה נמוכה ואנרגיה גבוהה, והוא יכול לשמש כדי ליצור סרט על כל מצע כמעט. לכן, אין זה מפתיע כי טכנולוגיית ציפוי PVD מתפתח במהירות בשל טווח היישום הרחב שלה. עם התפתחות טכנולוגיית ציפוי ואקום, PCVD (תצהיר כימי פיזי), mt-cvd (בתצהיר אדי כימיים בטמפרטורה בינונית) וטכנולוגיות חדשות אחרות הופיעו גם היום. ציוד ציפוי שונים ותהליכי ציפוי שונים מתעוררים בנחל אינסופי.

III. במקביל, אנחנו צריכים להיות מודעים לכך פיתוח של טכנולוגיית ציפוי ואקום הוא מאוזן ברצינות.בגלל סביבת העבודה הקשה ביותר של כלים ותבניות, הדרישות של הידבקות הסרט הם הרבה יותר גבוה מזה של ציפוי דקורטיבי. לכן, למרות יצרני ציפוי דקורטיבי כבר סביב, אבל הייצור של יצרני ציפוי עובש אינם רבים. בנוסף הכלי, עובש ציפוי היעדר שירות לאחר המכירה, עד כה, יצרני הציוד ציפוי המקומי ביותר יכול לספק כלי חיתוך מלא ציפוי הטכנולוגיה (כולל תהליך preaterment, תהליך ציפוי, ציפוי שלאחר עיבוד הטכנולוגיה, טכנולוגיית זיהוי, היישום של כלי ציפוי ואת הטכנולוגיה עובש, וכו '), יתר על כן, זה גם דורש אנשי טכנולוגיה, בנוסף לאמן של ידע מקצועי של ציפוי, גם צריך ידע מוצק של חומר מתכת טיפול בחום, עובש ציפוי פני השטח לפני הבחירה של הידע הנכון, חיתוך הכלי, ציפוי עובש כמו גם את הדרישות הטכניות לשימוש במחשב, אם קישורים מופיעים בעיה, ייתן למשתמשים את המסקנה כי אפקט השימוש אינו אידיאלי. כל אלה קשות להגביל את היישום של טכנולוגיה זו כלי חיתוך ותבניות.

IV. מאידך גיסא, משום שהטכנולוגיה היא בין מדע החומרים, הפיזיקה, האלקטרוניקה, הכימיה ותחומים אחרים של משמעת קצה, והחלה על כלי החיתוך, הייצור המקומי בתחום אחד היצרנים המובילים הבודדים, בעיקר הליכה היא הקדמה של ציוד מתקדם וטכנולוגיה מחו"ל, זה נשאר להיות תהליך של אכול, ספיגה, ולכן, כיום בתחום הכוח הטכני המקומי הוא פרופורציה לפיתוח שלה, בדחיפות צריך להדביק.

V. PVD (אדים פיזית הפקדת) מורכב ואקום אידוי הפקדת, ואקום sputtering הפקדת ו יון ואקום הפקדה. אנחנו בדרך כלל אומרים ציפוי PVD, מתייחס ציפוי יון ואקום; ציפוי NCVM הוא המכונה בדרך כלל ציפוי אידוי ואקום ציפוי ואקום sputtering.

VI. העיקרון הבסיסי של אידוי ואקום: במצב ואקום, מתכת, סגסוגת מתכת וכן הלאה הם התאדו ולאחר מכן שהופקדו על פני השטח של המצע. שיטת אידוי משמש בדרך כלל כדי לחמם את ההתנגדות להפציץ את החומר ציפוי עם קרן אלקטרונים להתאדות לתוך שלב הגז ולאחר מכן להפקיד על פני השטח של המצע. בהיסטוריה, אידוי ואקום היא הטכנולוגיה המוקדמת ביותר בשימוש בשיטת PVD.

VII. העיקרון הבסיסי של ציפוי המקרטעת: תחת מצב ואקום מלא עם ארגון (Ar) גז, ארגון הוא פריקה זוהר. בשלב זה, ארגון (Ar) אטומים יונים לתוך יון ארגון (Ar). תחת הפעולה של כוח שדה חשמלי, יון ארגון מאיץ bombarding את החומר היעד קאתודה עשוי חומר ציפוי, ואת חומר היעד יופקדו על משטח העבודה על ידי המקרטעת. יונים האירוע בסרט המקרטעת מתקבלים בדרך כלל על ידי פריקה זוהר בטווח של l0-2pa ~ 10Pa. לכן, כאשר חלקיקים sputtering לטוס אל המצע, הם קל להתנגש עם מולקולות הגז בחדר ואקום, מה שהופך את כיוון התנועה אקראי ואת הסרט שהופק קל להיות אחיד.

ח. העיקרון הבסיסי של יון ציפוי: בתנאים ואקום, כמה הטכנולוגיה יינון פלזמה הוא אימץ באופן חלקי ליינן את האטומים של החומר ציפוי ליונים. במקביל, אטומים ניטרליים רבים באנרגיה גבוהה מיוצרים, וכן הטיה שלילית נוסף על המצע. בדרך זו, תחת פעולה של הטיה שלילית עמוקה, יונים מופקדים על פני השטח של המטריצה כדי ליצור סרט דק.

התשיעי. תהליך של יון ציפוי: חלקיקים של המאייד, כמו יוני אנרגיה גבוהה עם מטען חיובי, נמשכים על ידי cathode בלחץ גבוה (כלומר, לחומר) ומוזרק לתוך משטח workpiece במהירות גבוהה.

X. תהליך יון ציפוי הוא כדלקמן:

מקור התאדות מחובר לאנודה וחומר העבודה מחובר לקתודה. פריקה זוהר נוצר בין המקור מתאדה ואת לחומר לאחר זרם ישר גבוה מתח של 3-5 אלפים וולט מוחל. כמו גז argon אינרטי מלא כיסוי ואקום, חלק ארגון גז הוא מיונן תחת פעולה של השדה החשמלי פריקה, ובכך להרכיב שטח כהה פלזמה סביב לחומר קטודה. יון הארגון בעל המטען החיובי, שנגרם על ידי הלחץ השלילי הגבוה של הקתודה, הפציץ באלימות את פני השטח של העוּבָּר, וגרם לחלקיקי השטח וללכלוך העוּבָּר להתיז החוצה, כך שמשטח היצירה לציפוי היה ניקה ביסודיות על ידי הפצצה יון. לאחר מכן, את evaporator מחובר AC אספקת החשמל, ואת חלקיקי evaporator להמיס להתאדות, להיכנס לאזור פריקה זוהר להיות מיונן. חיובי חיובי מאדים יונים, נמשך על ידי הקתודה, מיהר לחומר יחד עם יונים ארגון. כאשר מספר ידים מאדה על משטח לחומר עלה על מספר יונים מותז, הם נערמו בהדרגה למעלה כדי ליצור ציפוי כי דבקו בחוזקה על משטח workpiece. זהו תהליך פשוט של יון ציפוי.

השוואה של שלוש שיטות ציפוי:

טכנולוגיית PVD יש ארבעה שלבים טכנולוגיים

(1) ניקוי לחומר: להפעיל את אספקת החשמל dc, ארגון מבצעת פריקה זוהר כמו יון ארגון, יון ארגון מפציץ משטח workpiece, וחלקיקים משטח הלכלוך של לחומר הם התיז החוצה;
(2) גיזוז חומר הציפוי: לאחר חיבור הזרם לסירוגין, חומר הציפוי מאדה ומתפזר.
(3) הגירה של יונים ציפוי: אטומים, מולקולות או יונים שסופקו על ידי מקור גיזוז ימהרו לחומר במהירות גבוהה לאחר התנגשות ושדה חשמלי במתח גבוה;
(4) בתצהיר של אטומים, מולקולות או יונים של החומר ציפוי על המצע: כאשר כמות של ידים חומר מתאדים על פני השטח לחומר עולה על כמות יונים spatter, הוא מצטבר בהדרגה כדי ליצור ציפוי דבקה בחוזקה על פני השטח של היצירה.

לאחר יינון החלקיקים של ציפוי יון, החומר אידוי יש 3000 אל האנרגיה הקינטית של חמשת אלפים וולט אלקטרון, במהירות גבוהה הפצצה artifacts, לא רק מהירות ההפקדה היא מהירה, ומסוגל לחדור את פני השטח, ויוצרים עמוק לתוך שכבת דיפוזיה מטריקס , עומק דיפוזיה ממשק של יון ציפוי יהיה ארבעה עד חמישה מיקרון, כלומר, מאשר ואקום רגיל ציפוי דיפוזיה עומק עמוק עשרות פעמים, אפילו מאה פעמים, דבקו אחד לשני כל כך מהר.

XI. המושג הבסיסי ומאפיינים של ציפוי PVD

PVD הוא קיצור של "הפקדת אדי פיזית". עכשיו אנחנו בדרך כלל אידוי ואקום, ציפוי sputtering, יון ציפוי וכן הלאה נקראים תצהיר אדי פיזית.

שיטות PVD בוגרת יותר כוללים בעיקר ציפוי רב קשת ו magnetron sputtering ציפוי. Multi-arc ציפוי ציוד הוא פשוט במבנה וקל לתפעול. יון שלה מתאדה את המקור כדי להיות מסוגל לעבוד על ידי אספקת החשמל מכונת ריתוך החשמל, אספקת תהליך arc שלה דומה גם עם ריתוך חשמלי, בפרט, תחת לחץ מלאכה מסוימים, החל מחט arc ו מתאדה את המקור היוני קצר , מתנתק, גורם לפליטת הגז. בשל הגורם arc הציפוי הוא בעיקר באמצעות העברת arc נקודה, מקור אידוי להיווצרות של בריכה מותכת על פני השטח, להפוך את התאדה מתאדה, שכבת הסרט מופקד על המצע, לעומת מגנטרון המקרטעת, זה לא יש רק את שיעור ניצול החומר היעד הוא גבוה, שיעור יינון גבוהה, יונים מתכת יותר הסרט היתרונות של הידבקות חזקה. בנוסף, צבע של ציפוי רב arc יציב יחסית, במיוחד כאשר ציפוי טין הוא עשה, אותו צבע זהב יציב ניתן להשיג בקלות אצווה כל, מה שהופך את שיטת מגנטרון המקרטעת ללא תחרות. החיסרון של ציפוי רב ארק הוא שכאשר עובי הציפוי מגיע 0.3 מ ', שיעור בתצהיר והחזרה הם קרובים זה לזה תחת מצב של ציפוי טמפרטורה נמוכה עם אספקת כוח DC המסורתית, ואת הסרט להרכיב הופך קשה מאוד. יתר על כן, פני השטח של הסרט מתחיל לטשטש. חסרון נוסף של ציפוי רב קשת הוא, כמו המתכת הוא התאדה לאחר ההיתוך, את החלקיקים שהופקדו הם גדולים יותר, וכתוצאה מכך צפיפות נמוכה יותר, ואת ההתנגדות ללבוש הוא גרוע יותר מזה של magnetron sputtering היווצרות הסרט.

ניתן לראות כי הן ציפוי רב arc ו magnetron ציפוי sputtering יש יתרונות וחסרונות. על מנת לתת לשחקן מלא את היתרונות שלהם ולהשיג complementarity, מכונת ציפוי שילוב רב arc הטכנולוגיה ואת הטכנולוגיה magnetron קמה. בתהליך, שיטה חדשה של ציפוי רב arc מוצג, אשר מגנטרון USES sputtering לעבות את הציפוי, ולבסוף USES רב ציפוי ARC כדי להשיג את הצבע הסופי יציב ציפוי צבע.

על בסוף 1980s, הופעתה של קתודה חם אקדח אלקטרונים יון ציפוי אדים, חם קתודה arc magnetron מכונת ציפוי פלזמה, אפקט היישום הוא טוב מאוד, כך כלי ציפוי TiN במהירות לקבל יישום אוניברסלי. ביניהם, חם קתודה אלקטרונים אקדח יונים ציפוי אידוי, באמצעות נחושת כור היתוך חימום הוא חומר מוזהב, באמצעות נימה טנטלום לחמם את לחומר, degassing, באמצעות אקדח אלקטרונים כדי לשפר את שיעור יינון, לא רק יכול לקבל את עובי של 3 ~ 5 מ 'ציפוי TiN, אבל גם הידבקות שלה, ללבוש התנגדות הם ביצועים טובים, אפילו על ידי שיטת השחזה קשה להסיר. אבל מכשירים אלה מתאימים רק ציפוי טין, או סרט מתכת טהור. עבור ציפוי רב ציפוי או מרוכבים, קשה להסתגל חומר קשיות גבוהה במהירות גבוהה חיתוך יישום עובש דרישות הדרישה.

CemeCon כיום, כמה מדינות מפותחות (כגון גרמניה, בריטניה ART - TEER, שוויצרי Platit) על בסיס העיקרון המסורתי של מגנטרון המקרטעת, שדה מגנטי לא מאוזן במקום האיזון המקורי של השדה המגנטי, 50 KHZ בינוני תדר החשמל כדי להחליף את אספקת הכוח המקורי DC, אספקת כוח הדופק במקום הטיה dc, הטכנולוגיה האנודה עזר וכו ', להפוך את הטכנולוגיה magnetron המקרטעת בהדרגה בהדרגה, יש כמויות גדולות של בשימוש על ציפוי עובש, עכשיו הייצור יציב בעיקר כוללים TiAlN, ציפוי AlTiN , TiB2, DLC, CrN, סין גואנגדונג, ג'יאנגסו, guizhou, zhuzhou ומקומות אחרים הציגו גם זה סוג של ציוד, יש את הפוטנציאל של לתפוס אש.

XII. תרשים זרימת PVD

PVD מאפיין מאפיין

1) הסרט PVD ניתן מצופה ישירות על נירוסטה וסגסוגת קשה. סגסוגת אבץ רך יחסית, נחושת, ברזל יציקות למות אחרים צריך להיות electroplated עם כרום הראשון, ולאחר מכן מתאים ציפוי PVD.
2). טיפוסי PVD ציפוי טמפרטורת עיבוד בין 250 ℃ - 450 ℃;
3) סוג ציפוי ועובי לקבוע את זמן התהליך, זמן התהליך הכללי הוא 3 ~ 6 שעות;
4) עובי שכבת PVD ציפוי של רמת מיקרון, עם עובי דק, ממוצע של 0.3 מ 'מ ~ 5 מיקרון, ציפוי דקורטיבי ציפוי עובי השכבה הוא בדרך כלל 0.3 מ' מ ~ 1 מ 'מ', כך שזה יכול להיות כמעט לא משפיע על גודל המקורי של לחומר להעלות כל מיני תכונות פיזיות תכונות כימיות על פני השטח של לחומר, והוא יכול לשמור על גודל לחומר, לא צריך שוב לאחר עיבוד ציפוי;

5). טכנולוגיית PVD לא רק משפר את כוח מליטה בין הסרט ציפוי החומר המצע, אלא גם מפתחת את הרכב ציפוי מן הדור הראשון של TiN כדי ציפוי מרוכב של TiC, TiCN, ZRN, CrN, MoS2, TiAlN, TiAlCN , פח אלן, CNx, DLC ו ta-c, ויצירת אפקט פני השטח של צבעים שונים.
6) הצבעים הקיימים כיום הם זהב כהה, זהב בהיר, חום, ברונזה, אפור, שחור, אפור שחור, שבעה צבעים, וכו 'צבע ניתן לשלוט על ידי שליטה על הפרמטרים בתהליך ציפוי. בסוף הציפוי ניתן להשתמש כדי למדוד את ערך הצבע של המכשירים הרלוונטיים, כך צבע ניתן לכמת, כדי לקבוע אם ציפוי צבע עונה על הדרישות.

היישום של טכנולוגיית ציפוי PVD מחולק בעיקר לשתי קטגוריות: ציפוי דקורטיבי ציפוי כלי:

מטרת ציפוי דקורטיבי: בעיקר על מנת לשפר את המראה של תכונות דקורטיביות לחומר וצבע, באותו זמן להפוך את לחומר ללבוש יותר ההתנגדות קורוזיה להאריך את חיי השירות שלה; היבט זה בעיקר חל על מקצוע החומרה כל תחום, אם את הדלת חלון חומרה, את המנעול, את החומרה האמבטיה וכן הלאה בתעשייה.

מטרת ציפוי הכלי: בעיקר כדי לשפר את קשיות פני השטח ואת ההתנגדות ללבוש של לחומר, להפחית את מקדם החיכוך של פני השטח, לשפר את חיי השירות של לחומר; היבט זה משמש בעיקר כלי חיתוך שונים, כלי מפנה (כגון מפנה כלים, סכינים Planer, חותכי כרסום, מקדחה סיביות, וכו ') ומוצרים אחרים.

למרות השימוש בטכנולוגיה ציפוי PVD יכול להיות מצופה מתוך סרט באיכות גבוהה, אבל העלות של תהליך ציפוי PVD הוא למעשה לא גבוה, זה טיפול מאוד חסכונית משטח, כך בשנים האחרונות טכנולוגיית ציפוי PVD מפתחת מהר מאוד . ציפוי PVD הפך את כיוון הפיתוח של טיפול פני השטח בתעשיית החומרה.

XIII. PVD יתרון

1. הידבקות טובה של ציפוי

ציפוי ואקום רגילות, את פני השטח של העבודה ואת הציפוי כמעט שום קשר בין שכבת המעבר, להבדיל. יון ציפוי, הפצצה יון במהירות גבוהה artifacts, מסוגל לחדור את פני השטח, להרכיב עמוק לתוך שכבת דיפוזיה מטריקס, עומק דיפוזיה ממשק של יון ציפוי יהיה ארבעה עד חמישה מיקרון, לאחר יון ציפוי של הדגימה עבור הבדיקה מתיחה הראה כי כל הדרך ללכת לשבר, ציפוי עם התארכות מתכת מטריקס מתכת, ללא קילוף או מתקלף, גלוי איך הידבקות חזקה, שכבת הממברנה אחידה, צפופה.

2. טוב גלישת יכולת ציפוי

במקרה של ציפוי יונים, חלקיקי המאייד נעים בכיוון קו החשמל בשדה החשמלי בצורת יונים טעונות. לכן, בכל מקום שבו יש שדה חשמלי, ציפוי טוב ניתן להשיג, שהוא הרבה יותר טוב ציפוי ואקום רגיל אשר ניתן לקבל רק בכיוון ישיר. לכן, שיטה זו מתאימה מאוד ציפוי של חלקים על החור הפנימי, חריץ ו חריץ צר. שיטות אחרות קשה חלקים ציפוי. עם ציפוי ואקום רגיל ניתן רק מצופה ישירות על פני השטח, חלקיקי אידוי, כגון טיפוס בסולם, יכול רק לעקוב אחר הסולם; יון ציפוי, לעומת זאת, ניתן לפצוע באופן שווה סביב החלק האחורי של החלק לתוך החור הפנימי. יונים טעונים, לעומת זאת, ניתן להעביר לכל מקום ברדיוס של נתיב הטיסה שצוין, בדיוק כמו במסוק.

3. הציפוי הוא באיכות טובה

הציפוי יש מבנה קומפקטי, לא חור, לא בועה ועובי אחיד. אפילו את הקצוות ואת חריצים ניתן מצופה באופן שווה מבלי ליצור גושים מתכת. חלקים כמו חוט יכול להיות גם מצופה, עם קשיות גבוהה, התנגדות ללבוש גבוהה (מקדם חיכוך נמוך), עמידות בפני קורוזיה טובה יציבות כימית, חיי הסרט יותר; במקביל הסרט יכול לשפר באופן משמעותי את המראה של הביצועים דקורטיביים workpiece

4. תהליך ניקוי פישוט

תהליך ציפוי קיים, רוב הדרישות של לפני לחומר לניקוי קפדני, הן מורכבות צרות. עם זאת, תהליך יון ציפוי עצמו יש אפקט הפצצה יון ניקוי, ואת האפקט הזה נמשך לאורך תהליך הציפוי. אפקט ניקוי מעולה, יכול להפוך את הציפוי ישירות קרוב אל המצע, ביעילות לשפר את הידבקות, לפשט הרבה ניקוי לפני ציפוי.

5. מגוון רחב של חומרי ציפוי

יון ציפוי הוא השימוש של יוני אנרגיה גבוהה המפציצים את פני השטח של לחומר, כך כמות גדולה של אנרגיה חשמלית על פני השטח של לחומר לאנרגיה החום, ובכך לקדם את דיפוזיה רקמות השטח ואת התגובה הכימית. עם זאת, כל העבודה, במיוחד הליבה של לחומר, לא היה מושפע הטמפרטורה הגבוהה. לכן, זה סוג של תהליך ציפוי יש מגוון רחב של יישומים, ואת המגבלות הן קטנות. באופן כללי, כל מיני מתכות, סגסוגות וכמה חומרים סינתטיים, חומרי בידוד, חומרים תרמיים וחומרים נקודת התכה גבוהה יכול להיות מצופה. יכול להיות מצופה על מתכת או מתכת nonmetal, גם יכול להיות מצופה על nonmetal או nonmetal, ואפילו יכול להיות מצופה על פלסטיק, גומי, קוורץ, קרמיקה וכן הלאה.

היקף היישום, היתרונות והחסרונות של טכנולוגיית PVD בצבע שני צבעים .

היקף היישום שלה הוא:
1) פחמן פלדה, סגסוגת פלדה, נירוסטה, סגסוגת טיטניום וחומרי מתכת אחרים;
2) את קשיות השטח של חומר המתכת צריך להיות לפחות HV170.

היתרונות שלה הם:

לעומת מגנטרון המסורתית המקרטעת PVD טכנולוגיה חד-כיווני, טכנולוגיית PVD בצבע שני הוא מורכב יותר, מורכב יותר, וקשה יותר לייצר, אבל יש לו אפקט מראה מעולה. קשיחות השטח של שני הצבעים מעל HV600.

מגנטרון המסורתי המקרטעת PVD הטכנולוגיה מונוכרום היא להשיג את אפקט שני צבעים. הצעדים הטכנולוגיים שננקטו הם לגלף החוצה או לטחון את הלייזר באזור זה צריך להשיג צבע אחר על בסיס של כל PVD מונוכרום. האזור כי טיפול חדש יוצא יכול להראות את האיכות האינסטינקטיבית של המתכת בלבד, קשיות השטח כלומר קשיות השטח של המתכת עצמה -

קשיחות השטח לאחר PVD הוא מעל HV600).

החסרונות שלה הם:

1) התהליך מורכב יותר מאשר PVD מונוכרום המסורתית, ואת התהליך מורכב יותר וקשה לייצר;
2) תפוקת הייצור היא נמוכה, על 65 ~ 70% (התשואה של PVD שחור / לבן הוא בדרך כלל 85 ~ 90%;
3) המחיר יהיה 50 ~ 60% גבוה יותר מאשר PVD מונוכרום המסורתית;
4) בשל ההשפעה של הטכנולוגיה תהליך, הייצור של PVD צבעוני יש יותר מגבלות והוא מושפע מאוד על ידי מבנה המוצר, בעוד PVD מונוכרום המסורתי הוא כמעט בלתי מוגבל

ציוד הציוד המודרני (טכנולוגיית חימום אחיד, טכנולוגיית מדידת טמפרטורה, מתיחה magnetron לא מאוזן, אנודה עזר, אספקת כוח תדר ביניים, טכנולוגיית הדופק) ציוד ציפוי מודרני מתקבל בעיקר על ידי תא ואקום, חלק ואקום, חלק ואקום מדידה, אספקת חשמל, קלט גז התהליך מערכת, חלקים שידור מכני, חימום טמפרטורה יחידת מדידה, אידוי יון או מקור המקרטעת, מערכת מים וחלקים אחרים.

1 תא ואקום

ציוד הציפוי בעיקר יש קו ציפוי רציף ציפוי חדר יחיד ציפוי מכונת שתי צורות, כי ציפוי עובש ציפוי חלק מכני הילוכים יש דרישות גבוהות יותר, צורה עובש, גודל משתנה, קו ציפוי רציף ציפוי בדרך כלל קשה לעמוד בדרישות, חייבים להשתמש מכונת ציפוי בחדר יחיד.

2 חלק ואקום לזכות

רכישת ואקום הוא חלק חשוב של הטכנולוגיה ואקום. עקב הדרישות של הידבקות גבוהה של הציפוי על לחומר, את הרקע ואקום תואר צריך להיות טוב יותר מאשר 6mPa לפני תחילת תהליך הציפוי, ואפילו עד 0.06mPa לאחר השלמת תהליך הציפוי. לכן, חשוב מאוד לבחור את ציוד הרכישה ואקום סביר להשיג תואר ואקום גבוה. נכון לעכשיו, אין משאבה שיכולה לפעול בלחץ אטמוספרי כל הדרך עד קרוב ואקום גבוה במיוחד. לכן, רכישת ואקום אינו ציוד ואקום השיטות ניתן להשיג, יש להשתמש בשילוב עם משאבות מספר, כגון משאבה מכנית, מערכת המשאבה המולקולרית.

3 חלק ואקום מדידה

החלק מדידה ואקום של מערכת ואקום היא למדוד את הלחץ בחדר ואקום. כמו משאבת ואקום, לא מד ואקום יכול למדוד את טווח ואקום כולו, כל כך הרבה סוגים של מדדי ואקום נעשו על פי עקרונות שונים ודרישות.

4 ספק כוח

אספקת חשמל היעד כולל בעיקר אספקת חשמל DC (כגון MDX) ואת אספקת כוח תדר ביניים (כגון PE, PEII ו PINACAL המיוצר על ידי AE החברה בארצות הברית). העבודה עצמה מסופקת בדרך כלל עם ספק כוח DC (כגון MDX), ספק כוח דופק (כגון PINACAL + המיוצר על ידי AE), או ספק כוח RF (RF).

5 מערכת קלט גז קלט

גזים תהליך, כגון ארגון (Ar), קריפטון (Kr), חנקן (N2), אצטילן (C2H2), מתאן (CH4), מימן (H2), חמצן (O2), וכו ', מסופקים בדרך כלל על ידי צילינדרים, דרך גז שסתום הפחתת, שסתום כדור הארץ גז, צינור, flowmeter גז, שסתום סולנואיד, שסתום piezoelectric, ולאחר מכן לתוך תא ואקום. היתרון של מערכת זו קלט גז היא כי צינור פשוט, בהיר, קל תחזוקה או החלפת צילינדרים. כל מכונת ציפוי אינו משפיע אחד על השני. ישנם גם מקרים בהם מכונות ציפוי מרובים לשתף קבוצה של צילינדרים, אשר ניתן לראות בכמה חנויות ציפוי גדול. היתרון שלה הוא, להפחית את גליל הגז לכבוש במינון, תוכנית מאוחדת, פריסה מאוחדת. החיסרון הוא שמספר החיבורים מגדיל את הסיכוי לדליפה. יתר על כן, מכונת ציפוי יפריע זה לזה, צינור ציפוי צינור דליפה, עשוי להשפיע על איכות של אחרים מכונת ציפוי מוצרים. בנוסף, בעת החלפת צילינדרים, יש צורך להבטיח כי כל המארחים נמצאים במצב שאינו גז.

כונן מכני

ציפוי כלי דורש עובי אחיד סביב הקצה, ולכן חייב להיות שלושה סיבובים בתהליך ציפוי כדי לענות על הדרישות. כלומר, בעוד השולחן גדול לחומר נדרש כדי לסובב (I), השולחן קטן לחומר גם מסתובבת (II), ואת workpiece עצמו יכול לסובב בו זמנית (III).

בתכנון מכני, בדרך כלל במרכזה של תחתית פטיפון גדולה עבור ציוד נהיגה גדול, מוקף כמה הילוך כוכב קטן meshing עם זה, ולאחר מכן להשתמש מזלג לחייג את סיבוב workpiece. כמובן, בעת ביצוע ציפוי עובש, זה בדרך כלל מספיק כדי להיות שני סיבובים, אבל את היכולת נושאת של הציוד חייב להיות משופר מאוד.

7 מדידת חום וטמפרטורה

כאשר ציפוי מודל העבודה, כיצד להבטיח את החימום אחיד של לחומר מצופה הרבה יותר חשוב ציפוי חימום קישוט. ציוד ציפוי Die הם בדרך כלל לפני ואחרי שני תנורים, מדידת טמפרטורה תרמית ושליטה. עם זאת, בגלל מלחציים תרמי שונים, קריאת הטמפרטורה לא יכול להיות הטמפרטורה האמיתית של לחומר. יש הרבה דרכים למדוד את הטמפרטורה בפועל של workpiece. הנה שיטה פשוטה Thermumeer Surface. מדחום עובד על ידי הרחבת האביב בתחתית כאשר המדחום מחומם, גורם המחט לדחוף את המחט מיצוב לסובב עד שהוא מגיע לטמפרטורה מקסימלית. כאשר הטמפרטורה יורדת, חוזי האביב והמצביע מסתובבים בכיוון ההפוך, אך מצביע המיצוב נשאר בטמפרטורה הגבוהה ביותר. לאחר פתיחת הדלת, לקרוא את הטמפרטורה המצוין על ידי מצביע המיצוב, כלומר, ערך הטמפרטורה הגבוהה ביותר הגיע פעם על ידי מדחום פני השטח כאשר הוא מחומם בתא ואקום.

8 יון אידוי ומקורות המקרטעת

מקור אידוי של ציפוי ארק רב הוא בדרך כלל בצורת עוגה עגולה, הידוע בכינויו יעד עוגה עגולה. בשנים האחרונות הופיע גם יעד מלבני רב-קשתי, אך לא ניכר אפקט ברור. היעד עוגה עגולה מותקן על המושב היעד נחושת (מושב קתודית), ואת שני מחוברים על ידי רכסים. יש מגנט במושב היעד. על ידי הזזת המגנט קדימה ואחורה, עוצמת השדה המגנטי יכולה להשתנות, וניתן לכוון את המהירות הנעה ואת המסלול של נקודת הקשת. על מנת להקטין את טמפרטורת המטרה ואת מושב היעד, יש למקד את מושב היעד ברציפות עם מי קירור. על מנת להבטיח את מוליכות גבוהה מוליכות תרמית בין היעד לבין המושב היעד, אטם Sn ניתן להוסיף בין היעד לבין המושב היעד. ציפוי מגנטרון המקרטעת בדרך כלל משתמש מטרות מלבניות או גליליות,

9 מערכת קירור מים

כי על מנת לשפר את שיעור יינון של אטומי מתכת, כל יעד cathode נועד להשתמש פלט חשמל גדול ככל האפשר, אשר דורש מספיק קירור. יתר על כן, סוגים רבים של ציפוי ציפוי עובש, טמפרטורת החימום הוא 400 ~ 500 C, ולכן, על הקיר קאמרית ואקום, הקירור של כל משטח האיטום הוא גם מאוד חשוב, ולכן המים הקירור היה להשתמש טוב יותר על 18 ~ 20 C - אספקת מים. על מנת למנוע טיפות מים מזורז מתוך קיר החדר ואקום טמפרטורה נמוכה היעד קתודה במגע עם אוויר חם לאחר פתיחת הדלת, כ 10 דקות לפני פתיחת הדלת, מערכת קירור מים צריך להיות מסוגל לעבור מצב חימום מים, ואת טמפרטורת המים החמים הוא כ 40 ~ 45 C.

XIV. צעדים עבודה של עובש ו PVD למות

תהליך הזרימה הבסיסי של PVD יכול להיות מסוכם כדלקמן: טיפול IQC PVD FQC.

1 IQC

העבודה העיקרית של IQC (בקרת InQuality) היא לא רק כדי לבדוק את הכמות באופן שגרתי ולבדוק אם הציור הוא עקבי עם האובייקט האמיתי, אלא גם לבדוק היטב את משטח העבודה, במיוחד אם יש סדקים פגמים אחרים בחוד החנית . לפעמים עבור כמה כלי חיתוך, הלהב, בגוף תצפית מיקרוסקופ, נוח יותר למצוא בעיות; בנוסף, אנשי IQC צריך לשים לב גם לבדוק אם חלקי הציפוי יש פלסטיק, הלחמה עם נקודת התכה נמוכה, וכו ', אם הדברים האלה מעורבים בתהליך ציפוי בשל השמטת בדיקה, זה יהיה ברצינות לשחרר את האוויר בתא ואקום, אשר עלול לגרום את אצווה שלמה של מוצרים להיות decoated, או אפילו לגרום למוצרים אישור המקורי להיות scrapped, ואת התוצאות יהיה בלתי נתפס.

2 תהליך טרום טיפול (אקדח אדים, חול, ליטוש, ניקוי)

מטרת הטיפול המקדים היא לטהר או לגלם את פני השטח של חלקים כימיים.

טיהור הוא להסיר כל מיני זיהום פני השטח, הכנת משטח נקי. טיהור באמצעים מכניים, פיזיים או כימיים, בדרך כלל עם מגוון של סוכני טיהור. גס, בניגוד photetching, שואפת להכין משטחים גסים כדי לשפר את חוזק מבני של ציפוי או ציפוי קישוט. כעת יש לנו את שיטות הטיפול העיקרי: טמפרטורה גבוהה ניקוי קיטור, ניקוי, sandblasting, שחיקה, ליטוש ושיטות אחרות.

שטיפת אדים בטמפרטורה גבוהה

נכון לעכשיו, סדנת PVD נפוץ בטמפרטורה גבוהה קיטור ציוד ניקוי הוא אקדח קיטור. טמפרטורת הפעולה המקסימלית שלו יכולה להגיע ל 145 מעלות, ולחץ האוויר הוא סביב 3 ~ 5 בר. בגלל עובש לעתים קרובות מכיל כמה חורים קטנים, חורים הליכי, לעתים קרובות שמן, נוזל קירור שיורית זיהומים אחרים בחור, שיטת ניקוי קונבנציונאלי קשה להסיר. בשלב זה, טמפרטורה גבוהה קיטור ציוד כביסה יכול למקסם את היתרונות שלה. ניקוי

XV. נוהלי הניקוי של ציפוי הציפוי לפני כל מפעל הם כדלקמן:

1. הסרת שעווה Ultrasonic 2. מעל מים 3. הסרת שמן Ultrasonic 4. מעל מים 5. החלפת Ultrasonic 6. מעל מים 7. מעל מים טהורים 8. זה בגלל מצע ציפוי דקורטיבי הוא בעיקר נירוסטה או סגסוגת טיטניום, לא קל כדי חלודה. בנוסף, ציפוי דקורטיבי על סימני מים, כתמים ופגמים אחרים הם בהחלט אסור. לכן, ציפוי דקורטיבי לדרישות איכות המים של המים הטהורים הוא גבוה ביותר, ואפילו להגיע יותר מ 15 מ ' Ω . כדי להבטיח את איכות גבוהה של ניקוי, ניתן לחזור על ניקוי, ובאיכות גבוהה של מים טהורים טבילה קולי במשך זמן רב להגיע. עם זאת, ניקוי ניקוי הוא שונה, במיוחד כמה חם למות פלדה, אם ציפוי דקורטיבי לנקות, יהיה חלודה בבלגן.

בגלל ציפוי עובש של פני השטח של המדינה המקורית, בנוסף כמה עובש עדשה סטנדרטית גבוהה, בדרך כלל ציפויים דקורטיביים יותר מחוספסים, ולכן, על פני השטח של ציפוי לאחר דרישות המדינה הם לא גבוה כמו ציפוי דקורטיבי, זה מאפשר לנו לקחת מים במהירות, עם יבש, שמן ללא אוויר דחוס לפוצץ יבש, ולאחר מכן עובש המפעל שיטת ייבוש להתמודד עם רוחות חזקות. ואלה עובש גבוהה במראה רגיל, הם בדרך כלל 136 נירוסטה, יכול ללוות דקורטיבי ציפוי שיטת ניקוי.

במילה אחת, שיטת הניקוי לפני ציפוי למות תלוי בחומרים שונים המשמשים את הקובייה, את פני השטח לפני ציפוי למות שונה, ולא אותו דבר.

The following is a few materials rust from difficult to easy sort, for reference:

Stainless steel, hard alloy, metal ceramic alloy, DC53, high speed steel, 8407 have an automatic cleaning machine model CR288, made in Germany. The maximum cleaning capacity of this machine is 80KG, mainly used for cleaning tools, small parts, or small size of the mold. It has a total of three cleaning cylinder, the solution is tap water + cleaning agent, tap water, deionized water. In addition to the common ultrasonic, water washing, spray, swing, hot air drying and other functions, the machine is another advantage is the final set of vacuum steps, can make the moisture as soon as possible volatile.

Automatic cleaning machine memory ten kinds of technology, are preset by the supplier. One to nine can be used for different types of products, different surface state purification treatment. The tenth is used for cleaning agent.

sand blast

Sand blasting is the use of compressed air to make abrasive strong erosion workpiece surface, so as to remove rust, carbon deposition, welding slag, oxide, residual salt, old paint layer and other surface defects. Sand blasting can be divided into dry sand blasting and wet sand blasting according to the conditions of abrasive use.

The technological parameters of sand blasting mainly include gun distance, inclination Angle, rotating speed, moving speed, stroke, round trip times, sand blasting time and sand blasting air pressure. The parameters we have used are gun range: 30~70mm; Angle of 30 ~ 70? C; The rotating speed of the clamping table is 10~30; Round trip times: 3~9 times; Sand blast pressure: 1.8~3.5 bar, etc. In the specific operation, the upper and lower limits are selected according to the degree of dirt on the workpiece surface, the hardness of the workpiece, the geometry of the workpiece surface and other factors. The abrasive we choose in the dry sandblasting machine is glass beads, suitable for spraying some hardness medium materials, such as oil steel, mold, etc. In the liquid sandblasting machine selected abrasive alumina, high hardness, suitable for some high hardness of the material, such as hard alloy material. Abrasive size is also important for die coating. If the abrasive size is too large, the workpiece surface is too rough; If the particle size of abrasive is too small, and will reduce the impact force, or even embedded in the workpiece surface, cleaning is difficult to remove, so that the workpiece coating adhesion is reduced. For this reason, some European countries, on the die coating before blasting abrasive particle size used to do A careful study, strict enough to ensure that more than 85% of the grain size in the A, B point range before use. In contrast, China's abrasive suppliers are still lack of consensus in this regard, we also rarely do this test.

PVD coating process (heating, ion cleaning, coating, cooling, process gas, air pressure, temperature, sputtering power) FQC

1. Function Quality Control 2. Function Quality Control 2. The content of FQC mainly includes methods of appearance inspection, layer depth inspection, adhesion inspection, wear resistance inspection, corrosion resistance inspection and simulation test. I plant the main application of the current appearance inspection, layer depth inspection and adhesion inspection.

As most of the products we come into contact with are not allowed to do destructive inspection, we will put in the sample with each batch when coating. When you do a depth test and a adhesion test, in most cases, you're actually checking the sample with the batch. Since it is difficult to agree between the sample and the product in terms of raw materials, heat treatment status, clamping position, etc., there will be certain error between the detected result and the actual value of the product. Sometimes there may be considerable error, can only be used as a reference. Of course, when necessary, we can also make simulation parts to achieve the purpose of accurate measurement.

appearance inspection

Open the door for the product, the surface should be carefully checked for cracks, coating, loose and other defects. For knives, knives, also need to carefully examine the state of their blades under the microscope.

Layer deep check

There are many methods for depth inspection, such as microsection metallography, X-ray examination, optical test with monochromatic light as the light source, ball mill test and so on. The layer depth inspection of die coating is carried out on a ball mill. The method is to use a steel ball with a diameter of 10mm to test the surface rolling grinding, and then measure the relevant data of the grinding marks under the microscope, and put it into the formula to calculate the depth of the layer.

This kind of layer depth examines the characteristic of the method is: convenient and applicable, error is largo. But this error applied to die above the impact will not be too large. Interested colleagues may also refer to the relevant literature.

There are a lot of adhesion inspection methods, each factory according to the characteristics of their products, have developed the corresponding test methods. Among them, there are two authoritative methods. One is to do indentation test with conical diamond head on rockwell hardness tester, observe under the microscope, and judge the adhesion of the coating by the number of cracks around the indentation. This method has high requirements for the shape of the diamond head. It not only strictly requires the center point to be in the center of the circle, but also requires the roundness of the diamond cone to be very regular. Unfortunately, at present, China does not have its national or industry standards; Another method is the scratch method, some of our coating launched earlier scientific research departments, is also the use of this method, there are special national industry standards for query.

Besmear after processing technology of jig (sandblasting, painting fat technology) detection technology (binding force test, the deep layer of detection, acid corrosion) coating stripping technology (TiAlN/TiN stripping technology, CrN/DLC/CrAlTiN stripping technology, the surface of the cemented carbide coating stripping technology) application technology of the coated tools (in the proper selection of coating, coating tool used correctly

Coating on the tool optimization is very big, because the high speed cutting machining than the traditional cutting temperature is higher, the application of coating, can play its role in high temperature, oxidation resistance and hardening materials. For example, chromium nitride (CrN) coatings reduce friction coefficients and improve finish and chip removal.

XVI. Specification of main technical requirements

1. Double-color PVD matching selection is conducted between traditional and conventional colors such as black, silver, gold and common rose;
2. Two-color PVD pairing on or between 3D surfaces is not allowed;
3. Two-color PVD design can be carried out on 2D plane structure;
4. As far as the current technical conditions are concerned, it is limited to common and regular colors, such as black, silver, gold and common rose. Two-color PVD matching selection is conducted between traditional and conventional colors such as black, silver, gold and common rose.

IKS PVD,Decorative coating,Tools and Mould coating,optical coating machine,contact with us now,iks.pvd@foxmail.com