ניתוח ושיפור של בעיות נפוצות ציפוי אופטי

ניתוח ושיפור של בעיות נפוצות ציפוי אופטי

הבעיות הנפוצות של מוצרי ציפוי נגרמות בחלקן על ידי תהליך הציפוי עצמו, וכמה נשארים על ידי הנדסה לשעבר. האיכות הסופית של הציפוי היא השתקפות מקיפה של עיבוד של כל רכיב אופטי (במיוחד ליטוש וניקוי). באמת למצוא את הסיבה, ושיפור של הנגד יכול להשיג תוצאות.

ראשית, כוח הסרט

חוזק הסרט הוא אינדיקטור חשוב של ציפוי העדשה פריט משותף בתהליכי ציפוי.

כוח הסרט (סרט חלש) מתבטא בעיקר:

1 לנגב או לקרוע עם סרט מיוחד כדי לייצר חתיכה של קילוף;

2 לנגב או לקרוע עם סרט מיוחד כדי לייצר ירידה נקודה;

3 מבושלים במשך 15 דקות, ואז משכה עם קלטת מיוחדת כדי לייצר נקודה או להתקלף;

4 באמצעות ראש גומי מיוחד ושפשוף 40 פעמים עם כוח 1KG, יש דרך לייצר;

5 הסרט נמחק או לא נמחק עם סדקים בצב וקווים משוריינים.

רעיונות לשיפור: השילוב של המצע והסרט הוא השיקול העיקרי, ואחריו משטח קשיחות משטח הסרט מתח הסרט.

גורמים ומנגנוני כוח הסרט:

1 שילוב של שכבת המצע ושכבת הסרט.

באופן כללי, בסרט האנטי-רפלקטיבי, זו הסיבה העיקרית לסרט החלש. מאז פני השטח של המצע בהכרח יש כמה זיהומים מזיקים הקשורים פני השטח במהלך עיבוד אופטית קר וניקוי, את פני השטח של המצע יש כמה שכבות נזק עקב ההשפעה של עיבוד קר אופטי, וזיהומים עמוק בשכבת הנזק (כגון אדי מים, נוזל ניקוי, נוזל ניקוי, ליטוש אבקה וכו ', שבו אדי מים הוא הראשי), קשה להסיר אותו בשיטות כלליות, במיוחד עבור מצעים עם הידרופיליטי טוב ספיחה חזקה. כאשר מולקולות הסרט לצבור על זיהומים אלה, הידבקות של שכבת הסרט מושפע, אשר משפיע על כוח הסרט.

בנוסף, אם המצע הוא עניים hydrophilicity ועניים ספיחה, ספיחה של שכבת הסרט הוא גם עני, אשר משפיע גם על כוח הסרט.

היציבות הכימית של החומר חנקתי הוא עני. במהלך תהליך המצע במהלך עיבוד מראש, פני השטח כבר corroded, להרכיב שכבת קורוזיה או שכבת הידרוליזה (אולי מקומי, דק מאוד). כאשר הסרט הוא מצופה על שכבת קורוזיה או שכבת הידרוליזה, הספיגה היא גרועה הסרט הוא המשרד.

פני השטח של המצע הוא מלוכלך, כתמי שמן, כתמים אפורים, נקודות רוק, וכו ', ואת שכבת הסרט המקומי מחובר, וכתוצאה מכך עמידות הסרט המקומי.

שפר את האסטרטגיה:

(1) לחזק את הטיפול degreasing. אם זה ניקוי קולי, זה צריך להתמקד על הסרת שמן פונקציה ואת האפקטיביות של הפתרון שמן; אם הוא שפשף ביד, לשקול לנגב אותו עם אבקת סידן פחמתי לפני ניקוי.

(2) לחזק את האפייה מראש ציפוי, התנאים היתר, טמפרטורת המצע יכול להגיע 300 מעלות צלזיוס או יותר, הטמפרטורה היא יותר מ 20 דקות, אדי מים ואדים שמן על פני המצע צריך להיות מתנדנד כמו הרבה ככל האפשר. * הערה: הטמפרטורה גבוהה יותר, קיבולת ספיחה המצע הוא גדל, וזה קל adsorb אבק. לכן, את הניקיון של החדר ואקום צריך להשתפר. אחרת, המצע יהיה הידבקות אבק לפני ציפוי, אשר יש השפעה על כוח הסרט בנוסף לאחרים. (טמפרטורת desorption כימיים של אדי מים על המצע ואקום הוא מעל 260 ° C). אבל לא כל החלקים צריכים טמפרטורה גבוהה אפייה, וכמה חנקות יש טמפרטורה גבוהה, אבל כוח הסרט הוא לא גבוה יהיו נקודות צבע. זה יש מערכת יחסים גדולה עם מתח חומר התאמת תרמית.

(3) כאשר יש תנאים, היחידה מצוידת במכונת עיבוי (PLOYCOLD). בנוסף להגדלת מהירות שאיבה ואקום של היחידה, זה יכול גם לעזור אדי מים ושמן וגז על המצע כדי להסיר.

(4) כדי להגדיל את מידת ואקום של בתצהיר אדי, עבור מכונת ציפוי של יותר מ 1 מ ', את ואקום בתצהיר אדים סטארט אפ צריך להיות גבוה מ 3 * 10-3Pa, גדול יותר את מכונת ציפוי, גבוה יותר ואקום של תצהיר אדי.

(5) כאשר התנאי הוא נפגשו, היחידה מצויד עם מקור יון, מופגז לפני ציפוי, מנקה את פני השטח של המצע, ומסייע בתהליך ציפוי, אשר תורמת את הקומפקטיות של שכבת הסרט.

(6) לחות של חומר הסרט, ואת חומר הסרט לשמש ממוקם בחדר ואקום להיות מיובש.

(7) שמור על סביבת העבודה יבשה (כולל ניגוב העדשה, אזור העבודה העליון של המטרייה), ואל תביא יותר מדי אדי מים בעת ניקוי סביבת העבודה.

(8) עבור סרטים multilayer, בעיצוב של מערכת הסרט, יש צורך לשקול את ההתאמה של הסרט ואת המצע, ולשקול את החומר Al2O3 הסרט ככל האפשר, אשר יש כוח ספיחה טובה על רוב המצעים . עבור סרטים מתכת, אפשר גם לשקול שכבת מצופה CR או Cr סגסוגות. Cr או סגסוגת CR יש גם כוח ספיחה טוב על המצע.

(9) לקיחת נוזל ליטוש (נוזל ליטוש) כדי להסיר את שכבת קורוזיה (שכבת הידרוליזה) על פני השטח של העדשה

(10) לפעמים זה מועיל כדי להפחית את קצב אידוי כראוי כדי לשפר את כוח הסרט, ויש לו משמעות חיובית לשיפור החלקות של משטח הסרט.

3 קשיחות משטח הסרט החיצוני:

השכבה החיצונית של הסרט נגד השתקפות היא בדרך כלל MgF2, ואת חתך הסרט של הסרט הוא מבנה עמודתי רופף, ואת קשיחות השטח אינו גבוה, וקל לחסל את המסלול.

שפר את האסטרטגיה:

(1) כאשר עיצוב מערכת קרום מאפשר, השכבה החיצונית מצופה בשכבת SiO2 של כ 10 ננומטר. משטח חלקות של סיליקה הוא טוב יותר מזה של פלואוריד מגנזיום (אבל ההתנגדות שחיקה משטח וקשיות של סיליקה אינם טובים כמו פלואוריד מגנזיום). לאחר ציפוי במשך כמה דקות, את ההשפעה של תקיפות יהיה טוב יותר. (אבל פני השטח יהפכו עבים יותר)

(2) לאחר שהעדשה יוצאת מהתא ואקום, היא ממוקמת במקום יבש ונקי יחסית כדי לספוג במהירות לחות ולהפחית את קשיות השטח.

4 אחר

הסיבה חוזק הסרט היא כי מידת ואקום נמוך מדי (נוטה להתרחש מכונה מבוקרת באופן ידני), תא ואקום מלוכלך, המצע אינו מחומם.

כאשר הגז עזר הוא טעון, חומר הסרט הוא מנופח גם, כך את מידת הוואקום הוא הוריד, הנתיב החופשי המולקולרי מצטמצם, ואת שכבת הסרט הוא לא חזק. לכן, מילוי של גז עזר צריך לשקול את אוורור של חומר הסרט. לפני ציפוי, חומר הסרט הוא במלואו מראש נמסה ו מנופח לחלוטין, ואת מידת ואקום מופחתת יתר על המידה בשל אוורור של חומר הסרט בתצהיר אדי, ובכך להשפיע על כוח הסרט.

חמישה הפשטות

למרות הסרט לשחרר כאן הוא גם סרט חלש, יש כמה הבדלים מן הסרט הנ"ל שפורסמו. התכונות העיקריות הן: שחרור כמו נקודה, שחרור קצה, וכן שחרור חלקי.

הסיבה העיקרית היא נוכחות של לכלוך או מזהמים בקרום.

שיפור שיטת: לשפר את ניקיון המצע.

נקודות ממברנה הן גם בעיה שכיחה במוצרים מצופים. ביפן ובטייוואן, נקודות הסרט נקראות "חורים ספוטיים".

כפי שהשם מרמז, נקודת הסרט היא בתצהיר אדי. הצבע הגדול חלקיק הסרט הוא אדי שהופקדו על פני השטח של המצע יחד עם מולקולות אדים של הסרט. פני השטח של המצע נוצר עם בליטות ספוט, לפעמים נקודות בודדות. במקרים חמורים, הוא נוצר לחתיכות. כתמים קנס, חלקיקים גדולים יכולים אפילו להזיק על פני השטח של המצע.

המאפיינים אידוי של חומרים שונים הסרט הם שונים, במיוחד את נקודת ההתכה טמפרטורה טמפרטורת אידוי שונים מאוד.

חומר בעל טמפרטורת ההתכה של הטמפרטורה גבוהה יותר מאשר טמפרטורת האידוי, אשר מאדה ישירות על ידי מצב מוצק והוא חומר סובלימציה;

חומר בעל נקודת התכה נמוכה מטמפרטורת האידוי, המומר למצב נוזל על ידי מצב מוצק, ולאחר מכן הופך למצב גזי להתאדות, שהוא חומר ללא סובלימציה;

חומר בעל נקודת טמפרטורת ההתכה שווה לטמפרטורת האידוי, מתאדה ממצב מוצק למצב גזי, ומתאדה תוך כדי התכה. זהו חומר סובלימציה למחצה.

ביניהם, חומר ללא סובלימציה קל לייצר חומר חומר הצבע, כי חומר הסרט נוזלי ממשיכה לחמם ומרתיח, ואת הבועות בחומר הסרט בחומר רותח גלישה, ואת האפשרות של מתיז את החומר הצבע הצבע הוא גדל. לפעמים יש הרבה מתיז כאשר החומר הוא מראש נמסה.

החומר הסרט לח, ואדי המים נמלט במהלך ההיתוך מראש או אידוי, אשר גם גורם להתיז.

IKS PVD, מכונת ציפוי אופטי, OPT-2700, פנה iks.pvd@foxmail.com לשאול את הפרטים פרמטר המכונה עכשיו.