וידאו מפענח את עקרון העבודה של המשאבה המולקולרית

וידאו מפענח את עקרון העבודה של המשאבה המולקולרית

https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html

איך משאבות מולקולריות עובדות?

עיקרון עבודה:

מנגנון המשאבה של המשאבה המולקולרית שונה מזה של משאבה מכנית, הנשענת על שינוי נפח תא המשאבה להוצאת אוויר.

המשאבה המולקולרית מונעת על ידי המנוע להסתובב במהירות גבוהה. באזור הזרימה המולקולרית, מולקולות הגז מתנגשות עם משטח הלהב המהיר, והמומנטום מועבר למולקולות הגז, כך שחלק ממולקולות הגז נעות לכיוון משטח הגוף הנוקשה ומגורשות מהמשאבה להשיג את מטרת שאיבת האוויר. בדרך כלל עם תנועה מהירה של משטח גוף נוקשה לשאת מולקולות גז, ולגרום לו לנוע בכיוון מסוים של התופעה המכונה תופעת מתיחה מולקולרית, תוך שימוש בתופעה זו העשויה משאבת ואקום המכונה משאבה מולקולרית מתיחה (משאבת גאד). היתרון של משאבה מולקולרית מתיחה הוא שזמן ההתחלה הוא קצר, במצב הזרימה המולקולרית יחס דחיסה גבוה, יכול להסיר כל מיני גזים ואדים, המתאימים במיוחד לשאיבת גזים כבדים יותר. עם זאת, מכיוון שמהירות השאיבה המולקולרית של המשאבה המולקולרית קטנה, פער החותם קטן מדי, אמינות העבודה גרועה, קל לכישלון מכני וקשיי ייצור, למעשה, כמעט ולא משתמשים בהם. בהמשך שופרה המשאבה המולקולרית של המתיחה והמשאבה המולקולרית טורבו הופיעה.

המשאבה הטורבו-מולקולרית מכילה קבוצות מרובות של להבי רוטור מתחלפים ולהבי רוטור קבועים, ויש להבים מלוכסנים רבים בזווית מסוימת על כל להב, כמוצג באיור. 1. המשאבה המולקולרית הטורבו בפועל מורכבת ממסג רב-שלבי, כלומר הלהב המפעיל, הלהב הקבוע והלהב הנע מסודרים לסירוגין. להבים נעים פועלים כמו להבי מאוורר חשמליים כשהם מסתובבים, ושואבים גז מצד אחד לצד השני. הגדלת מהירות המשאבה המולקולרית מועילה בשיפור מהירות השאיבה של המשאבה המולקולרית. בגלל מגבלת המהירות של הלהב, אם מולקולות הגז נעות מהר יותר, קשה יותר לשאוב ואקום.

ניתן לראות כי המשאבה המולקולרית טורבו היא גם סוג של משאבת ואקום מכנית. השילוב של להבי רוטור טורבינה טורבינת סיבוב במהירות גבוהה ולהבים סטטיים משמשים למיצוי אוויר, המייצר יחס דחיסה גבוה עבור הגז המופק באזור הזרימה המולקולרית, כדי להשיג את ביצועי הוואקום הנדרשים. הוואקום האולטימטיבי של המשאבה הטורבומולקולרית גבוה יותר ממשאבת דיפוזיה, עד 10 ^ -8pa. בפעולה רגילה דרוש דרגת וואקום מסוימת של הבמה הקדמית, שמשתנה מעט בהתאם למשאבה, ובדרך כלל נע בין 1 ל- 200 פא. המשאבה המכנית יכולה לשמש כמשאבה מהשלב הקדמי. יחידת הוואקום הגבוה מורכבת משאבה מולקולרית ומשאבה מכנית. בשל המהירות הגבוהה של המשאבה המולקולרית טורבו, היא מונעת בדרך כלל על ידי אם מנוע, ותדירות אספקת החשמל אם היא בין 300-400 הרץ. משאבות טורבומולקולריות בדרך כלל מקוררות מים.

המשאבה המולקולרית המורכבת היא שילוב סדרתי של משאבה מולקולרית טורבו ומשאבה מולקולרית משיכה, המשלבת את היתרונות של שני סוגי המשאבות לאחת, ויכולה להיות בטווח לחץ רחב של 10 ^ -6-1pa, עם מהירות שאיבה גדולה יותר ויחס דחיסה גבוה יותר, מה שמשפר מאוד את לחץ יציאת המשאבה.

  תנאי הפעלה :

(1) מהירות הרוטור מגיעה ל 20000r / min, כך שזמן ההתחלה של המשאבה המולקולרית הוא ארוך יחסית.
(2) הגז נמצא במצב של זרימה מולקולרית, ולכן הוא צריך להיות מצויד במשאבה של הבמה הקדמית. באופן כללי, משאבת השבבים הסיבוביים משמשת כמשאבת הבמה הקדמית

מאפייני משאבה מולקולרית:

משאבה מולקולרית לשימון שמן: כמות השמן סיכה קטנה, ובקטע הוואקום של השלב הקודם הזיהום של תא הוואקום קטן.
משאבים מולקולריים משמנים גריז: כמות השומנים היא קטנה מאוד, המשאבה היבשה לפני השלבים יכולה לקבל ואקום נקי כמעט ללא שמן.
משאבה מולקולרית השעיה מגנטית מלאה: אין צורך בשימון, ניתן להשתמש במשאבה יבשה, סביבת ואקום נקייה ללא שמן.

יישומים נפוצים אחרים:

1. ניתוח (ספקטרומטריה המונית, מיקרוסקופ אלקטרונים וכו ')
2. מוליכים למחצה (רכיבים אלקטרוניים, מעגלים משולבים, תאים סולאריים גמישים וכו ')
3. אופטיקה / זכוכית (הגנה תרמית, אנטי השתקפות, השתקפות, פילטר אופטי)
4. ציפוי (הגנת משטח, צבע דקורטיבי, תצוגה, מסך)
5. מתכות ואקום (תנור ואקום, הלחמת ואקום, הרתמת ואקום, סגסוגת ואקום,)
6. גילוי דליפות (מערכת ואקום, מיכל דלק לרכב, כרית אוויר)
7. ניסויים מחקריים (הדמיית תהודה מגנטית רפואית, פיזיקת חלקיקים גרעיניים, מחקר היתוך, יישומי לייזר ועוד)
8. ענף ייצור המנורות ותעשיות קשורות

מכונת ציפוי IKS PVD משתמשת במשאבה המולקולרית הטורבו של ריחוף מגנטי. צור איתנו קשר עכשיו לקבלת פרטים נוספים על מכונת ציפוי ואקום PVD, iks.pvd @ foxmail.com