מערכת ואקום אולטרה-גבוה נטולת שמן משאבת יונים מקרטעת

מערכת ואקום אולטרה-גבוה נטולת שמן משאבת יונים מקרטעת
איור 5-15 מציג את הדיאגרמה המושגית של המערכת. משאבת היונים המקרטעים היא המשאבה הראשית, ושתי משאבות מסננות מולקולריות משמשות כמשאבות קדם שאיבה, אחת מהן משמשת להוצאת הגז בלחץ אטמוספרי בתא הוואקום ובמשאבת היונים המקרטעת, והשנייה משמשת לסילוק הגז בלחץ אטמוספרי בתא הוואקום ובמשאבת היונים המקרטעים. הסר את הגז המשתחרר בעת הפעלת האפייה ומשאבת היונים.

▲ איור 5-15 משאבת יונים מקרטעת ללא שמן מערכת ואקום אולטרה-גבוה: 1-תא ואקום 2-מד ואקום BA 3- שסתום ואקום גבוה במיוחד 4- אולטרה -שסתום שער ואקום גבוה 5-משאבת יונים מקרטעת 6- שסתום ואקום גבוה 7- משאבת מסננת מולקולרית 8- מד ואקום תרמי

חברת IKS PVD, מכונת ציפוי דקורטיבית, מכונת ציפוי כלים, מכונת ציפוי DLC, מכונת ציפוי אופטי, קו ציפוי ואקום PVD, פרויקט Turn-Key זמין. צור איתנו קשר עכשיו, דוא"ל: iks.pvd@foxmail.com