ספק כוח מבעבע מגנטרון בתדר בינוני

הופעתה של אספקת חשמל מגנטרון בתדר בינוני נובעת בעיקר מהרעלת מטרה והצתת קשת במהלך התלקחות תגובתית של כוח DC. התכתוב קשת לא רק בא לידי ביטוי בהתפכות תגובתית, אלא גם עלולה להתרחש בהתכתמות DC של מתכות, וכתוצאה מכך מורפולוגיה פני השטח של הציפוי אינו צפוף מספיק, אשר משפיע ברצינות על יציבות המערכת ואיכות הסרט. תדר ביניים פולט ספק כוח עם שני יעד מבעבע כמו העומס, שני היעד לעבוד לסירוגין, כך מבעבע היעד מחזור מבעבע במשך יותר ממחצית המתח ההפוך הזמן על ידי sputtering, לבצע פריקה מלאה של המטען המצטבר על פני השטח של חומר היעד, הוא מועיל לרסן את פריקות קשת ופני השטח של הרעלת היעד, מתאים במיוחד לסביבת התגובה באמצעות שכבת קרום.
בהשוואה לספק כוח DC, אם ספק הכוח יש גם את פונקציית ההתאמה של תדירות ומחזור החובה (רק סוג פלט גל מרובע), שני פרמטרים אלה יש גם השפעה חשובה על תהליך הציפוי.

IKS PVD החברה, מכונת ציפוי דקורטיבי, מכונת ציפוי כלים, ציפוי אופטי mahcine, קו עריסת ואקום PVD. צור קשר עכשיו, דואר אלקטרוני: iks.pvd@foxmail.com