מבוא של זרם זרימה המוניים

בקר זרימת המסה (MFC) משמש למדידה מדויקת ובקרה של קצב זרימת המסה של גז. זה מורכב בדרך כלל חיישן זרימה, שסתום בקרת זרימה, הגברה מעגל הבקרה ו להשתלט ערוץ שליטה. אספקת כוח העבודה שלה ואת זרימת לתצוגה פעולות הגדרת על ידי זרימת תמיכה בתצוגה שלה אספקת החשמל.

השתמש ותכונות

MFC משחק תפקיד חשוב במחקר המדעי הייצור בתחומים רבים כגון מוליכים למחצה בתעשיית המיקרואלקטרוניקה, פיתוח חומר מיוחד, התעשייה הכימית, תעשיית הנפט, רפואה, איכות הסביבה ואקום.

יישומים אופייניים כוללים: ציוד אלקטרוני התהליך כגון דיפוזיה, חמצון, epitaxy, CVD, תחריט פלזמה, sputtering, יון השתלה; ציוד ואקום ציפוי, כרומטוגרפי גז ומכשירים אנליטיים אחרים.

בקרת זרימה המונית ו flowmeter המוני עם דיוק גבוהה, הדירות טוב, מהירות תגובה מהירה, התחלה רכה, יציב ואמין טווח לחץ עבודה (אשר יכול לעבוד תחת לחץ גבוה או בתנאי ואקום), המבצע קל לשימוש. MFC יכול להיות מותקן בכל מיקום, והוא מחובר למחשב כדי להשיג שליטה אוטומטית.

Flowmeter מחולק בדרך כלל את הסוגים הבאים:

1. מד זרימה volumetric

הוא משתמש באלמנט מדידה מכני כדי לחלק את הנוזל באופן רציף לחלק נפח אחד ידוע. זרימת העוצמה של הנוזל נמדדת על פי מספר הפעמים של נפח הנוזל הממולא וזורם בזה אחר זה ברצף מתא המדידה.

2. Float flowmeter (רוטור flowmeter)

Flowmeter צף הוא סוג של flowmeter שטח משתנה, בחרוט אנכי מלמעלה למטה, חתך רוחב עגול של כוח הכבידה לצוף נתמך על ידי כוח נוזלי, כך לצוף יכול להיות חופשי קונוס עלייה וירידה.

3. זרימת לחץ דיפרנציאלי

הוא מבוסס על הלחץ המיוחד המופעל על ידי גלאי הזרימה המותקן בצינור, מצב הנוזל הידוע והמטר לחישוב הזרימה בין הצינור לצינור.

4. וורטקס רחוב flowmeter (VSF)

מחולל המערבולת הלא-יעילה מונח בנוזל והנוזל מופרד לסירוגין משני צדי הגוף המפיק כדי לשחרר שתי סדרות של מכשירי מערבולת משולבים באופן סדיר.

5. טורבינה flowmeter

זהו הסוג העיקרי של flowmeter מהירות. הוא משתמש ברוטור להב רב (טורבינה) כדי לחוש את המהירות הממוצעת של נוזל, ו מסיק את המכשיר של נפח הזרימה או כמות כוללת.

6. flowmeter קולי

זוהי מדידה של זרימה על ידי מדידת ההשפעה של זרימת נוזל על קרן קולי (או פולס קולי).

7. flowmeter אלקטרומגנטי

Flowmeter אלקטרומגנטי הוא סוג של מכשיר למדידת מוליכות של נוזל על פי החוק של אינדוקציה אלקטרומגנטית של פאראדיי.

8. flowmeter מסה תרמית

חיישני זרימה תרמית מכילה שני רכיבי חישה, חיישן מהירות וחיישן טמפרטורה. הם יכולים לפצות באופן אוטומטי לכייל את שינוי הטמפרטורה של הגז. חלק החימום החשמלי של המכשיר חימם את חיישן המהירות לערך מסוים גבוה מהטמפרטורה של תנאי העבודה, כך שנוצר הבדל טמפרטורה קבוע בין חיישן המהירות לבין החיישן בתנאי טמפרטורת העבודה. כאשר הפרש הטמפרטורה נשאר קבוע, האנרגיה הנצרכת על ידי חימום חשמלי פרופורציונלי לזרימת המסה של זרימת הגז, והיא מתאימה למדידת גז בודד ושיעור קבוע של גז מרובה רכיבים.