איך עובד PECVD
Apr 17, 2024| איך עובד PECVD
שיטת PECVD משמשת לגידול סרטים דקים של סיליקון ניטריד תוך שימוש במאפיינים של פלזמה ללא שיווי משקל, כלומר מולקולות פלזמה, אטומים, יונים או קבוצות פעילות זהים לסביבה הסובבת, ואלקטרונים שאינם בשיווי משקל בשל המסה הקטנה שלהם, הטמפרטורה הממוצעת שלהם יכולה להיות גדולה בשני סדרי גודל מחלקיקים אחרים, כך שבתנאים רגילים, טמפרטורות גבוהות (300 מעלות צלזיוס -450 מעלות צלזיוס) דרושים כדי להשיג תגובות רבות. במהלך תהליך השקיעה, למולקולות הגז המיוחדות NH3 ו-SiH4 יש תנועה תרמית אינטנסיבית תחת פעולה של תדר גבוה ומתנגשות זו בזו כדי ליינן את המולקולות שלהן ולאחר מכן ליצור SiNx.
חברת IKS PVD, מכונת ציפוי דקורטיבי, מכונת ציפוי כלים, מכונת ציפוי DLC, מכונת ציפוי אופטי, קו ציפוי ואקום PVD, פרויקט Turn-Key זמין. צור איתנו קשר עכשיו, דוא"ל: iks.pvd@foxmail.com