גורמים של סרט דק מחוספס לגרום על ידי התזה ואקום ציפוי המכונה מגנטרון

Mar 09, 2018|


הגורמים של הסרט לא אחיד שכבת לגרום על-ידימכונת ואקום ציפוי המלהגים מגנטרוןכוללים שלושה היבטים: ואקום המדינה, שדה מגנטי, ארגון וגז.


עקרון העבודהמכונת ואקום ציפוי המלהגים מגנטרוןהוא תחת הברית ואקום, האלקטרון של השדה המגנטי אורתוגונלית כדי להפציץ את ארגון ויוצרים את יון ארגון, ואז מפציצים החומר היעד, כך ניתן להפקיד את יון המטרה על פני השטח של היצירה עבודה על סרט דק טופס.


המדינה ואקום זקוק למערכת בקרת שאיבה, פתח כל אחד צריך להיות בו זמנית מופעלים פנאומטית ועקבית. אם להזרים את אינה אחידה, הלחץ בתוך החדר ואקום יהיה לא אחיד. הלחץ ישנה השפעה מסויימת על תנועת יונים. בנוסף, הזמן של שאיבה חייבים להיות מבוקרים. קצרה מדי יגרום ואקום לא מספיק, אבל זה ארוך מדי, בזבוז משאבים.


השדה המגנטי עובד orthogonally, אבל זה בלתי אפשרי להפוך עוצמת השדה המגנטי 100% אחיד. שם השדה המגנטי כללית חזקה, העובי של הסרט הוא גדול, אבל זה קטן ההיפך הוא הנכון, אז זה יגרום את חוסר העקביות של העובי של הסרט. עם זאת, בתהליך הייצור, לא שווה של הסרט עקב אי-האחידות של השדה המגנטי אינו נפוץ.


אחידות גז ארגון משפיעה גם על הסרט אחידות, העיקרון דומה ואקום. כי ארגון נכנס לתא ואקום, תשנה הלחץ בתוך החדר. הלחץ אחיד ניתן לשלוט אחידות עובי הסרט של המכונה מגנטרון המלהגים ציפוי ואקום.


במשך יותר מעשור,IKSמתמחה בכל מיני סוגים של ציפוי ואקום יישום ציוד ייצור, המוקדש המחקר, הפיתוח והייצור של מכונת ואקום לציפוי, עם הטכנולוגיה העדכנית ביותר כל הזמן לייצר לענות על צרכי השוק מכשור לציפוי ואקום , לספק ללקוחות פתרונות טכנולוגיים מותאם אישית וציוד.


 


שלח החקירה