השפעת מקור קשת הנוכחי על קשיות של סרט הפח

קשיות גבוהה היא תכונות חשובות מאוד של סרטי TN, וקשיות גבוהה יתאים התנגדות ללבוש טוב. מקור זרם arc יש השפעה רבה על קשיות של הסרט. איור 1 מראה את הווריאציה של קשיחות כלל של סרטי TN בזרמים מקוריים שונים. ניתן לראות כי קשיות של הסרט הסרט עולה עם הגדלת זרם arc הנוכחי. הקשיות של הסרט TiN מוכן על מקור זרם הנוכחי של יותר מ 80 A עולה על HV2000.

איור 1 הקשר בין קשיות של הסרט TiN ו arc מקור הנוכחי

הטמפרטורה של המצע משפיעה על מבנה הצמיחה של הסרט ובכך משפיעה על הביצועים שלה. כאשר הטמפרטורה נמוכה, מבנה הסרט הדק הוא מבנה גבישי גדול יחסית. מבנה זה הוא מחוספס למדי עם צפיפות נמוכה והרבה פגמים החור, כך קשיות של הסרט הוא נמוך. עם הגידול של זרם המקור arc, הטמפרטורה של המצע גם מגדילה, ואת הדיפוזיה של אטומים שהופקדו על המצע הואץ, כך מבנה הסרט הופך ממבנה משוחרר רופף יותר גס למבנה גבישי צפוף קטן עמודה . בה בעת, הגרגרים נעשים עדינים יותר וגבול התבואה מחזק את הסרט, כך שהקשיות של הסרט עולה.