משאבת דיפוזיה

משאבת דיפוזיה

   כידוע לכולנו, משאבת דיפוזיה לשמן היא סוג של משאבה המשמשת לעתים קרובות במערכת ואקום גבוהה. אז השאלה היא מהן השיטות? השיטות הן כדלקמן: ראשית, לבחירת הביצועים הטובים של שמן משאבת הדיפוזיה על לחץ גבול משאבת דיפוזיה השמן יש השפעה רבה. אם לא. 3 משמש משאבת דיפוזיה, הלחץ האולטימטיבי יכול להגיע רק 10-5pa; כאשר משתמשים בשמן סיליקון 275, הלחץ האולטימטיבי יכול להגיע ל 10-7 פאפה, ואת הלחץ האולטימטיבי ניתן להגדיל בשני סדרי גודל. שנית, הלחץ החלקי של הגז הנשאב משתנה גם עם ההבדל של שמן המשאבה, שהוא השפעת הרכב שמן המשאבה. לכן, יש לבחור במשאבת דיפוזית השמן עם ביצועים טובים בכדי להשיג ואקום גבוה במיוחד. מכיוון ששמן משאבת הדיפוזיה כה חשוב, כיצד עלינו לבחור? הדרישות של שמן משאבת הדיפוזיה הן: משקל מולקולרי יחסית של שמן המשאבה להיות גדול, לחץ אדי בטמפרטורת החדר להיות נמוך, יציבות תרמית ועמידות בפני חמצון להיות טובה, נקודת הקפאה וצמיגות טמפרטורה נמוכה להיות נמוכה, לא רעילה, עמידות בפני קורוזיה, עלות להיות נמוכה. משאבת דיפוזיה גבוהה ואקום גבוהה בדרך כלל לא משתמשת. 3 שמן משאבת דיפוזיה, ואקום אולטרה גבוה משתמש בשמן סיליקון, דורש מערכת ואקום אולטרה גבוהה ללא פחמימנים, משאבת הדיפוזיה משתמשת בשמן פלואור. שנית, השימוש במשאבת דיפוזיה סבירה לטכנולוגיית אפייה כדי להשיג מערכת ואקום אולטרה גבוהה צריך להתבצע באפייה בטמפרטורה גבוהה, המטרה היא להפחית את קצב החומר. חומרים באטמוספרה יכולים לספוג ולקלוט קצת גז, כאשר בוואקום הוא יפיק ספיחה, גז שוחרר לאט, על מנת להאיץ את הספיחה, באמצעות אפייה.                         

לאפות? נשמע פשוט, לא? לא, לא, לא, לא, לא, לא, לא, לא, לא, לא, לא. העיקרון הוא שהטמפרטורה גבוהה יותר היא טובה יותר, יכולה להאיץ את האוויר, אך גם לשקול אם החומר יכול לעמוד בטמפרטורה הגבוהה. אופים בטמפרטורה הנכונה. בדרך כלל חומרי מתכת, כגון נירוסטה, טמפרטורת אפייה של 250 ℃ - 450C; טמפרטורת האפייה של חומרים לא מתכתיים היא 80 ℃ - 100 ℃ . זמן אפייה מעל 4h - 8h. זמן האפייה של ואקום גבוה במיוחד הוא יותר מ- 24 שעות. ביצועים של מערכת משאבת דיפוזיה מתכתית טיפוסית (לאחר אפייה) ורכיבי גז שיורית במערכת ואקום אולטרה גבוהה של משאבת דיפוזיה מתכתית. שלישית, הוסיפו מכשיר מלכודת קר למניעת זרימה חוזרת של שמן משאבה והעברת שמן המשאבה דרך זרימת כניסת המשאבה לתופעה של מיכל השאיבה נקרא זרימה חוזרת. תופעת מולקולות השמן הנעות לאורך הקיר למיכל השאוב נקראת נדידה הפוכה. הן זרימה לאחור והן הגירה הפוכה משפיעים על הלחץ האולטימטיבי של מערכת הוואקום. מלכודת קרה נמצאת בשימוש נרחב במערכת ואקום אולטרה גבוהה, היא מותקנת בין כניסת המשאבה לתא הוואקום, לא רק שיכולה ללכוד ביעילות את הזרימה האחורית של קיטור משאבת הדיפוזיה ופתרון פיצול חלקי, אלא גם יכול להסיר את הקיטור מה תא ואקום. מערכת ואקום גבוהה במיוחד עם מלכודות שונות. ניתן להשיג ואקום גבוה במיוחד של 10-8pa ~ l0-10pa (ומעלה) לאחר אפייה וגיזום בטמפרטורה גבוהה ויסודית. המלכודת הקרה הנפוצה היא מלכודת הקרה החנקנית הנוזלית, מכיוון שבטמפרטורת החנקן הנוזלי, לחץ אדי שמן המשאבה נמוך בהרבה מדרישות הוואקום האולטרה גבוהה. תכנון מלכודת קרה חנקנית נוזלית חייב להבטיח כי המולקולות העוברות דרך המלכודת יפגשו את פני השטח הקרים, והמבנה חייב להיות סביר. לאחר התקנת מלכודת החנק הקרה הנוזלית, מהירות השאיבה של משאבת דיפוזית השמן מופחתת לא יותר מ 40%.

צמצום הדיפוזיה ההפוכה של גז שאוב הוא אחד הגורמים המגבילים את משאבת הדיפוזיה לקבלת ואקום גבוה במיוחד. האנטי דיפוזיה של הגז קשורה למסה המולקולרית. ככל שהמסה קטנה יותר, כך האנטי דיפוזיה קלה יותר. ישנן שתי שיטות למניעת דיפוזיה הפוכה של מימן במשאבת הדיפוזיה: ראשית, הפחיתו את לחץ הפליטה ביציאה של משאבת הדיפוזיה, באמצעות שתי משאבות דיפוזיה בסדרה כדי להשיג; השנייה היא להתקין מלכודת סובלימציה של טיטניום נוזלי-חנקן מקורר על צינור הכניסה של משאבת הדיפוזיה כדי לתפוס את המימן נגד הדיפוזיה.

IKS PVD Technology (Shenyang) Co, Ltd, יצרנית מכונת ציפוי ואקום PVD מסין, המוצר העיקרי

מכיל: מכונת ציפוי דקורטיבית, מכונת ציפוי כלים, מכונת ציפוי אופטית, קו ציפוי PVD. צור איתנו קשר עכשיו. דואר אלקטרוני: iks.pvd@foxmail.com