השוואה של הטיות DC ו הדופק הטיה
Feb 10, 2018| ציפוי יון arc המסורתית מתייחס הטיה שלילי DC מוחל על המצע לשלוט באנרגיה הפצצה יון. לתצהיר יש את החסרונות הבאים:
● עליית הטמפרטורה הגבוהה של המצע אינה תורמת להפקדת סרטים קשיחים על מצע הרטיבות בטמפרטורה נמוכה.
● הפצצות יון באנרגיה גבוהה גרמו לרעשות רציניות, והסרט הדק הקשה לא יכול להיות פשוט על ידי הגדלת סינתזת האנרגיה של יון תגובת אנרגיית סף גבוהה.
ב DC הטיה arc יון תהליך ציפוי, על מנת לרסן את יון קבוע bombard משטח המצע וגרם טמפרטורת המצע גבוה מדי, המדד העיקרי הוא להקטין את כוח בתצהיר, לקצר את זמן בתצהיר, השימוש בתצהיר לסירוגין אמצעים אחרים כדי להפחית את הטמפרטורה בתצהיר, אמצעים אלה נקראים "בקרת אנרגיה שיטה". למרות שיטה זו יכולה להפחית את הטמפרטורה בתצהיר, זה גם מקטין כמה תכונות של הסרט, תוך הפחתת יעילות הייצור ואת היציבות של איכות הסרט. לכן, קשה פופולריזציה ויישום.
ב הדופק הטיה arc יון תהליך ציפוי, בגלל יונים להפציץ את משטח המצע עם הדופק הלא רציפה, על ידי התאמת יחס החובה של הדופק הטיה, את הטמפרטורה מעבר בין פני השטח הפנימיים של המטריצה ניתן לשנות, ו אז את שיווי המשקל פיצוי ההשפעה של הטמפרטורה בין פני השטח פני השטח של המצע ניתן לשנות, כדי להשיג את המטרה של ויסות הטמפרטורה בתצהיר. בדרך זו, גובה הדופק של הטיה מיושמת ואת הטמפרטורה של לחומר יכול להיות בנפרד (ללא השפעה או השפעה קטנה) מותאם. מתח גבוה פעימות משמשים להשגת אפקט ההפגזה של יוני אנרגיה גבוהה כדי לשפר את המיקרו ואת המאפיינים של הסרט הדק, על ידי הפחתת יחס החובה כדי להפחית את אפקט חימום הכולל של הפצצה יון כדי להפחית את הטמפרטורה בתצהיר.
