מאפיינים וסיווג של יחידת ואקום אולטרה גבוהה

מאפיינים וסיווג של יחידת ואקום אולטרה גבוהה

יחידות הוואקום האולטרה-גבוהות הפועלות מעל 10-5Pa כוללות משאבת דיפוזיה, יחידת ואקום אולטרה-גבוהה של משאבה מולקולרית ויחידת ואקום אולטרה-גבוהה נטולת שמן. ליחידה מאפיינים הבאים:
(1) מידת הוואקום האולטימטיבית של המשאבה הראשית גבוהה, מעל 10-7 ~ 10-8Pa;
(2) יכול לעמוד באפייה בטמפרטורה גבוהה של 200 ~ 450 מעלות צלזיוס;
(3) הלחץ החלקי של גז הזרימה האחורית במשאבה הראשית נמוך מאוד;
(4) להיות נשאב גז סלקטיבי משאבה ראשית חזקה, כדי להיות מצויד במשאבת עזר גדולה מספיק;
קצב שקע החומר של תא ואקום, צינור, שסתום ורכיבים אחרים הוא נמוך מאוד, ואת קצב דליפת האוויר הוא קטן מאוד.

חברת IKS PVD, מכונת ציפוי דקורטיבית, מכונת ציפוי כלים, מכונת ציפוי אופטי, קו ציפוי ואקום PVD. צרו קשר עכשיו, דואר אלקטרוני: iks.pvd@foxmail.com