גבוהה ואקום Mass Mass Flow

מבוא מד זרימת ההמונים (MFC) מורכב משלושה מכשירים בסיסיים: חיישן זרימה, מעקף מפצל זרימה ולוח מעגלים מודפס, הוא מודד במדויק את קצב זרימת המסה, דשדוש נפח הגז משתנה עקב שינויי טמפרטורה. MFC מוחל נרחב בתחומים של מוליכים למחצה ו IC ...

שלח החקירה
הורד

הצגת המוצר

מִפרָט

טווחי זרימה	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
דיוק	± 1.5% FS
ליניאריות	± 1% FS
הֲדִירוּת	± 0.2% FS
זמן תגובה	≤ 4 שניות
מקדם טמפרטורה t	אפס: ≤ ± 0.1% FS / ℃, טווח: ≤ ± 0.2% FS / ℃
לחץ מקסימלי	3MPa
טמפרטורת הפעולה	5 ℃ ~ 45 ℃
חומר איטום	ויטון, נאופרן
הגדרת אות / פלט	0V ~ + 5.00V (קלט עכבה> 100K, יציאה זרם ≤3ma)
ספק כוח	+ 15V 50mA 15V 50mA
קשר חשמלי	D תת 15 סיכות נקבה
לחץ דיפרנציאלי	0 .01 MPa
שיעור דליפה	1 × 10-8atm • cc / sec הוא (1 × 10-9 Pa • m ³ / sec)
תקן משותף	סוואגלוק 6, SwagelokF3, Swagelok3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (פנימי) × 1 צינור מצמד, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (פנימי) × 1 צינור מצמד
כְּלֵי תִקְשׁוֹרֶת	כל הגז
אמי	לִספִירַת הַנוֹצרִים
מִשׁקָל	0.92kg

מבוא

מד זרימת ההמונים (MFC) מורכב משלושה מכשירים בסיסיים: חיישן זרימה, מעקף מפצל זרימה ולוח מעגלים מודפס, הוא מודד במדויק את קצב זרימת המסה של ערימת הגז הנגרמת כתוצאה משינויי טמפרטורה. MFC מיושמת באופן נרחב בתחומים של מוליכים למחצה ו- IC ייצור, מדע חומרים מיוחדים, התעשייה הכימית, תעשיית petrolic, תעשיית התרופות, הגנה על הסביבה, מערכת ואקום מחקר, וכו '

מאפיינים

◆ דיוק גבוהה, חיי שירות ארוכים, יכולת שחזור מעולה

◆ תגובה מהירה, התחלה רכה, אמינות טובה

◆ טווח לחץ פעולה רחב (פעולה טובה בלחץ גבוה או במצב ואקום)

◆ פעולה קלה ונוחה

◆ זה יכול להיות מותקן בכל מקום הצורך ומחובר עם המחשב כדי להשיג שליטה אוטומטית.

יישום אופייני

יישומים אופייניים של MFC כוללים ציוד microelectronic תהליך כגון דיפוזיה, חמצון, epitaxy, CVD, פלזמה, תחריט, השתוללות, יון השתלה ושדה אחר כגון ציוד בתצהיר ואקום, סיבים אופטיים ההיתוך, ציוד תגובה מיקרו, ערבוב & התאמת מערכת הגז , מערכת בקרת זרימה נימית, כרומטוגרף גז ומכשירים אנליטיים אחרים.

ממד התקנה